ํํฉ๋ฌผ ์ฌ์ - ๋๋ณด๋(Diborane)
Teledyne hastings ์ฌ์ Mass Flow Meter / Controller ๋ฅผ ์ด์ฉํด ๊ฐ์ค ์ ๋์ ์ธก์ ํ ์ ์๋ ๊ฐ์ค ํํฉ๋ฌผ์ ์ข
๋ฅ์ ๋ํด ์์๋ณด๋ ์๊ฐ์
๋๋ค. ์ด๋ฒ ์๊ฐ์๋ ํํ์ B2H6 ์ธ ๋๋ณด๋์ ๋ํด ์์๋ณด๋๋ก...
ํํฉ๋ฌผ ์ฌ์ - ์์(Cyanogen)
Teledyne hastings ์ฌ์ Mass Flow Meter / Controller ๋ฅผ ์ด์ฉํด ๊ฐ์ค ์ ๋์ ์ธก์ ํ ์ ์๋ ๊ฐ์ค ํํฉ๋ฌผ์ ์ข
๋ฅ์ ๋ํด ์์๋ณด๋ ์๊ฐ์
๋๋ค. ์ด๋ฒ ์๊ฐ์๋ ํํ์ C2N2 ์ธ ์์์ ๋ํด ์์๋ณด๋๋ก ํ๊ฒ ์ต๋๋ค....
ํํฉ๋ฌผ ์ฌ์ - ํด๋ก๋กํฌ๋ฆ(Chloroform)
Teledyne hastings ์ฌ์ Mass Flow Meter / Controller ๋ฅผ ์ด์ฉํด ๊ฐ์ค ์ ๋์ ์ธก์ ํ ์ ์๋ ๊ฐ์ค ํํฉ๋ฌผ์ ์ข
๋ฅ์ ๋ํด ์์๋ณด๋ ์๊ฐ์
๋๋ค. ์ด๋ฒ ์๊ฐ์๋ ํํ์ CHCl3 ์ธ ํด๋ก๋กํฌ๋ฆ์ ๋ํด ์์๋ณด๋๋ก...
ํํฉ๋ฌผ ์ฌ์ - ์ผ์(Chlorine)
Teledyne hastings ์ฌ์ Mass Flow Meter / Controller ๋ฅผ ์ด์ฉํด ๊ฐ์ค ์ ๋์ ์ธก์ ํ ์ ์๋ ๊ฐ์ค ํํฉ๋ฌผ์ ์ข
๋ฅ์ ๋ํด ์์๋ณด๋ ์๊ฐ์
๋๋ค. ์ด๋ฒ ์๊ฐ์๋ ํํ์ Cl ์ธ ์ผ์์ ๋ํด ์์๋ณด๋๋ก ํ๊ฒ ์ต๋๋ค....
ํํฉ๋ฌผ ์ฌ์ - ๋ทฐํ ์ธ(Butane)
Teledyne hastings ์ฌ์ Mass Flow Meter / Controller ๋ฅผ ์ด์ฉํด ๊ฐ์ค ์ ๋์ ์ธก์ ํ ์ ์๋ ๊ฐ์ค ํํฉ๋ฌผ์ ์ข
๋ฅ์ ๋ํด ์์๋ณด๋ ์๊ฐ์
๋๋ค. ์ด๋ฒ ์๊ฐ์๋ ํํ์ C4H10 ์ธ ๋ทฐํ
์ธ์ ๋ํด ์์๋ณด๋๋ก...
ํํฉ๋ฌผ ์ฌ์ - ๋ธ๋ก๋ฏผ(Bromine)
Teledyne hastings ์ฌ์ Mass Flow Meter / Controller ๋ฅผ ์ด์ฉํด ๊ฐ์ค ์ ๋์ ์ธก์ ํ ์ ์๋ ๊ฐ์ค ํํฉ๋ฌผ์ ์ข
๋ฅ์ ๋ํด ์์๋ณด๋ ์๊ฐ์
๋๋ค. ์ด๋ฒ ์๊ฐ์๋ ํํ์ Br ์ธ ๋ธ๋ก๋ฏผ์ ๋ํด ์์๋ณด๋๋ก ํ๊ฒ ์ต๋๋ค....