ํํฉ๋ฌผ ์ฌ์ - ํฌ๋ฆฝํค(Krypton)
Teledyne hastings ์ฌ์ Mass Flow Meter / Controller ๋ฅผ ์ด์ฉํด ๊ฐ์ค ์ ๋์ ์ธก์ ํ ์ ์๋ ๊ฐ์ค ํํฉ๋ฌผ์ ์ข
๋ฅ์ ๋ํด ์์๋ณด๋ ์๊ฐ์
๋๋ค. ์ด๋ฒ ์๊ฐ์๋ ํํ์ Kr ์ธ ํฌ๋ฆฝํค์ ๋ํด ์์๋ณด๋๋ก ํ๊ฒ ์ต๋๋ค....
ํํฉ๋ฌผ ์ฌ์ - ํ์ด๋๋ผ์ง(Hydrazine)
Teledyne hastings ์ฌ์ Mass Flow Meter / Controller ๋ฅผ ์ด์ฉํด ๊ฐ์ค ์ ๋์ ์ธก์ ํ ์ ์๋ ๊ฐ์ค ํํฉ๋ฌผ์ ์ข
๋ฅ์ ๋ํด ์์๋ณด๋ ์๊ฐ์
๋๋ค. ์ด๋ฒ ์๊ฐ์๋ ํํ์ N2H4 ์ธ ํ์ด๋๋ผ์ง์ ๋ํด ์์๋ณด๋๋ก...
ํํฉ๋ฌผ ์ฌ์ - ํฅ์ธ์ธ(Hexane)
Teledyne hastings ์ฌ์ Mass Flow Meter / Controller ๋ฅผ ์ด์ฉํด ๊ฐ์ค ์ ๋์ ์ธก์ ํ ์ ์๋ ๊ฐ์ค ํํฉ๋ฌผ์ ์ข
๋ฅ์ ๋ํด ์์๋ณด๋ ์๊ฐ์
๋๋ค. ์ด๋ฒ ์๊ฐ์๋ ํํ์ C6H14 ์ธ ํฅ์ธ์ธ์ ๋ํด ์์๋ณด๋๋ก...
ํํฉ๋ฌผ ์ฌ์ - ํจ๋(Furan)
Teledyne hastings ์ฌ์ Mass Flow Meter / Controller ๋ฅผ ์ด์ฉํด ๊ฐ์ค ์ ๋์ ์ธก์ ํ ์ ์๋ ๊ฐ์ค ํํฉ๋ฌผ์ ์ข
๋ฅ์ ๋ํด ์์๋ณด๋ ์๊ฐ์
๋๋ค. ์ด๋ฒ ์๊ฐ์๋ ํํ์ C4H4O ์ธ ํจ๋์ ๋ํด ์์๋ณด๋๋ก...
ํํฉ๋ฌผ ์ฌ์ - ํฌ๋ฆ์๋ฐํ์ด๋(Formaldehyde)
Teledyne hastings ์ฌ์ Mass Flow Meter / Controller ๋ฅผ ์ด์ฉํด ๊ฐ์ค ์ ๋์ ์ธก์ ํ ์ ์๋ ๊ฐ์ค ํํฉ๋ฌผ์ ์ข
๋ฅ์ ๋ํด ์์๋ณด๋ ์๊ฐ์
๋๋ค. ์ด๋ฒ ์๊ฐ์๋ ํํ์ CH2O ์ธ ํฌ๋ฆ์๋ฐํ์ด๋์ ๋ํด ์์๋ณด๋๋ก...
ํํฉ๋ฌผ ์ฌ์ - ํํธ์ค๋ฆฐ(Fluorine)
Teledyne hastings ์ฌ์ Mass Flow Meter / Controller ๋ฅผ ์ด์ฉํด ๊ฐ์ค ์ ๋์ ์ธก์ ํ ์ ์๋ ๊ฐ์ค ํํฉ๋ฌผ์ ์ข
๋ฅ์ ๋ํด ์์๋ณด๋ ์๊ฐ์
๋๋ค. ์ด๋ฒ ์๊ฐ์๋ ํํ์ F ์ธ ํ๋ฃจ์ค๋ฆฐ์ ๋ํด ์์๋ณด๋๋ก ํ๊ฒ ์ต๋๋ค....