Mass Flow Meter / Controller ์ ๋ ๋ฐ ์ธก์ ๊ธฐ์ฒด ๋ณ๊ฒฝ ์๋น์ค
๊ธฐ์ฒด์ ์ ๋์ ์ธก์ ํ ๋๋ ์ง์ ๋์ธก์ ๊ธฐ์ธ MFC ๊ฐ ๋งค์ฐ ์ ์ฉํ๊ฒ ์ฌ์ฉ๋์ด์ง๋๋ค.
์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์ฌ์ฉ๋๊ณ ์๋ Rotameter ์ ๋ค๋ฅด๊ฒ ๊ธฐ์ฒด์ ์๋ ฅ๊ณผ ์จ๋์ ๋ํ ๋ณด์์ด ํ์์๊ธฐ ๋๋ฌธ์
์ฝ๊ฒ ์ฌ์ฉ์ด ๊ฐ๋ฅํ๋ฐ, ๊ทธ๋งํผ ์ ํ์ ๊ฐ๊ฒฉ์ด Rotameter ๋ณด๋ค ๋์ ํธ์ด๊ธฐ ๋๋ฌธ์
๊ตฌ๋งคํ๊ธฐ ์ ์ฌ๋ฌ๊ฐ์ง๋ฅผ ๋ฐ์ ธ ๋ณด์์ผ ๋น์ฉ๊ณผ ์๊ฐ์ ์ ์ฝํ ์ ์์ต๋๋ค.
์ด๋ฒ ์๊ฐ์๋ MFC ๋ฅผ ๊ตฌ๋งคํ ๋ ์๊ฐํด ๋ณด์์ผํ Full Scale ๋ฐ ๊ฐ์ค์ ์ข ๋ฅ,
๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ์ธํฌ๋ผ๋์์ ์ ๊ณตํ๋ ๊ธฐ์กด ์ฌ์ฉ MFC์ ์ ๋ ๋ฐ ์ธก์ ๊ธฐ์ฒด ๋ณ๊ฒฝ ์๋น์ค์ ๋ํด
์์๋ณด๋๋ก ํ๊ฒ ์ต๋๋๋ค.
์ต๋ ์ ๋(Full Scale)
Mass Flow Meter / Controller ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ ๋๋ ์ ๋์ ๋ง๋ ์ ํ์ ์ฌ์ฉํ๋ ๊ฒ์ด ์ค์ํฉ๋๋ค.
์ ํ์ ์ต๋ ์ ๋(Full Scale)์ด ์ ๋ ์ธก์ ์ ์ ํ๋์ ํฐ ์ํฅ์ ๋ผ์น๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๋๋ค.
์๋ฅผ ๋ค์ด Full Scale 100 slm ์ ํ์ผ๋ก 10 slm ์ ์ ๋์ ์ธก์ ํ๋ ๊ฒ๋ณด๋ค
Full Scale 10 slm ์ ์ ํ์ผ๋ก 10 slm ์ ์ ๋์ ์ธก์ ํ๋ ๊ฒ์ด ์ ํ๋ ์ธก๋ฉด์์ ํจ์ฌ ์ ๋ฆฌํฉ๋๋ค.
๋ฐ๋ผ์ ์ ํ์ ๊ตฌ๋งคํ๊ธฐ์ ์ต๋๋ก ์ฌ์ฉํ ์ ๋์ ์์ธกํ๊ณ ์ ํ์ ๊ตฌ๋งคํ๋ ๊ฒ์ด ์ข์ต๋๋ค.
MFC์ ๋ถ์ฐฉ๋์ด ์๋ ์ ๋ ๋ฐ ๊ธฐ์ฒด ์ข ๋ฅ ๋ฑ ์ ํ ์ ๋ณด๊ฐ ์ ํ ๋ผ๋ฒจ
์ธก์ ๊ธฐ์ฒด์ ์ข ๋ฅ
์์ ์ธ๊ธํ๋ ๊ฒ์ฒ๋ผ Mass Flow Meter / Controller ๋ Rotameter ์ ๋ฌ๋ฆฌ
๊ธฐ์ฒด์ ์จ๋์ ์๋ ฅ์ ๋ํ ๋ณด์์ด ํ์ํ์ง ์์ ์๋นํ ํธ๋ฆฌํ๊ฒ ์ฌ์ฉ์ด ๊ฐ๋ฅํฉ๋๋ค.
๊ทธ ์ด์ ๋ MFC ๊ฐ ๊ธฐ์ฒด์ ์ง๋์ ์ด์ฉํด ์ ๋์ ์ธก์ ํ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ธ๋ฐ,
๊ทธ๋ ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ์ฌ์ฉ์๋ ์ ํ์ ๊ตฌ๋งคํ๊ธฐ ์ ์ ๋์ ์ธก์ ํ ๊ธฐ์ฒด์ ์ข ๋ฅ๋ฅผ ๊ฒฐ์ ํ ํ์๊ฐ ์์ต๋๋ค.
๊ฐ ๊ธฐ์ฒด๋ง๋ค ์ง๋์ด ๋ค๋ฅธ๋ฐ MFC ๊ฐ ํด๋น ๊ธฐ์ฒด์ ์ง๋์ ๋ง์ถฐ ๊ต์ ๋์ด ์๊ธฐ ๋๋ฌธ์ธ๋ฐ,
์๋ฅผ ๋ค์ด ์ง์(N2)๋ก ๊ต์ ๋์ด ์๋ MFC ์ ํ์ ์ด์ฉํด ์ด์ฐํํ์(O2)๋ฅผ ์ธก์ ํ๊ฒ ๋๋ฉด
๊ธฐ๋ณธ ์ค์ ๋์ด ์๋ ์ง๋๊ฐ์ด ๋ฌ๋ผ์ง๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ์ ํ๋์ ์ค์ฐจ๊ฐ ์๊ธธ ์ ์์ต๋๋ค.
์ธํฌ๋ผ๋ ์ ๋ ๋ฐ ์ธก์ ๊ธฐ์ฒด ๋ณ๊ฒฝ ์๋น์ค
์์ ๊ฐ์ด MFC ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ ๋๋ ์ฌ์ฉ ํ๊ฒฝ์ ๋ฐ๋ผ ์ ๋ ๋ฐ ์ธก์ ๊ธฐ์ฒด์ ๊ฒฐ์ ์ด ํ์ํฉ๋๋ค.
ํ์ง๋ง MFC ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ๋ค๊ฐ ์ฌ์ฉ ํ๊ฒฝ์ด ๋ฐ๋๊ฒ ๋๋ฉด ์ด๋ป๊ฒ ํด์ผ ํ ๊น์?
ํ์ฌ๊น์ง๋ ๋๋ถ๋ถ์ ์ฌ์ฉ์๋ค์ ์๋ก์ด ์ ๋๊ณผ ๊ธฐ์ฒด์ ๋ง๋ ์ ์ ํ์ ๊ตฌ๋งคํด์ผ ํ๊ณ
๊ธฐ์กด ์ ํ๋ค์ ๋ค์ ์ฌ์ฉํ ์ ์์ด ์ฐฝ๊ณ ์์ ์ํ์ง๊ธฐ ๋ง๋ จ์ด์์ต๋๋ค.
๋ฌผ๋ก ์ผ๋ถ ๋์งํธ ์ ํ์๋ ๊ฐ์ค ๋ณ๊ฒฝ์ ๋ฐ๋ฅธ ์ง๋๊ฐ์ ์๋์ผ๋ก ๋ณ๊ฒฝํ ์ ์๋ ๊ธฐ๋ฅ์ด ์์ง๋ง,
์ด ์ ํ๋ค๋ ์ต๋ ์ ๋(Full Scale)์ ๋ณ๊ฒฝํ๋๊ฒ์ ๊ฐ๋ฅํ์ง ์์ต๋๋ค.
ํฐ์น์คํฌ๋ฆฐ์ ์ด์ฉํด ๊ฐํธํ๊ฒ ์ฌ์ฉ ๊ธฐ์ฒด ๋ณ๊ฒฝ์ด ๊ฐ๋ฅํ ๋์งํธ MFC
๋ฐ๋ผ์ ๊ธฐ์กด ์ฌ์ฉ์๋ค์ ํธ์๋ฅผ ์ํด ์ธํฌ๋ผ๋๋ ์ ๋ ๋ฐ ์ธก์ ๊ธฐ์ฒด ๋ณ๊ฒฝ ์๋น์ค๋ฅผ ์ค์ํฉ๋๋ค.
๊ธฐ์กด์ ๋ณด์ ์ค์ธ MFC ์ ํ์ ์ ๋์ด๋ ์ฌ์ฉ ์๋ ฅ, ์ฌ์ฉ ๊ธฐ์ฒด ๋ณ๊ฒฝ์ ํตํด
์ ์ ํ์ ๊ตฌ๋งคํ๋ ๋น์ฉ๋ณด๋ค ํจ์ฌ ์ ๋ ดํ๊ฒ ๊ธฐ์กด ์ ํ์ ์ฌ์ฉํ ์ ์์ต๋๋ค.