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Mass Flow Meter / Controller ์œ ๋Ÿ‰ ๋ฐ ์ธก์ • ๊ธฐ์ฒด ๋ณ€๊ฒฝ ์„œ๋น„์Šค


๊ธฐ์ฒด์˜ ์œ ๋Ÿ‰์„ ์ธก์ •ํ•  ๋•Œ๋Š” ์งˆ์œ ๋Ÿ‰์ธก์ •๊ธฐ์ธ MFC ๊ฐ€ ๋งค์šฐ ์œ ์šฉํ•˜๊ฒŒ ์‚ฌ์šฉ๋˜์–ด์ง‘๋‹ˆ๋‹ค.

์ผ๋ฐ˜์ ์œผ๋กœ ์‚ฌ์šฉ๋˜๊ณ  ์žˆ๋Š” Rotameter ์™€ ๋‹ค๋ฅด๊ฒŒ ๊ธฐ์ฒด์˜ ์••๋ ฅ๊ณผ ์˜จ๋„์— ๋Œ€ํ•œ ๋ณด์ƒ์ด ํ•„์š”์—†๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์—

์‰ฝ๊ฒŒ ์‚ฌ์šฉ์ด ๊ฐ€๋Šฅํ•œ๋ฐ, ๊ทธ๋งŒํผ ์ œํ’ˆ์˜ ๊ฐ€๊ฒฉ์ด Rotameter ๋ณด๋‹ค ๋†’์€ ํŽธ์ด๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์—

๊ตฌ๋งคํ•˜๊ธฐ ์ „ ์—ฌ๋Ÿฌ๊ฐ€์ง€๋ฅผ ๋”ฐ์ ธ ๋ณด์•„์•ผ ๋น„์šฉ๊ณผ ์‹œ๊ฐ„์„ ์ ˆ์•ฝํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

์ด๋ฒˆ ์‹œ๊ฐ„์—๋Š” MFC ๋ฅผ ๊ตฌ๋งคํ•  ๋•Œ ์ƒ๊ฐํ•ด ๋ณด์•„์•ผํ•  Full Scale ๋ฐ ๊ฐ€์Šค์˜ ์ข…๋ฅ˜,

๊ทธ๋ฆฌ๊ณ  ์ธํฌ๋ผ๋“œ์—์„œ ์ œ๊ณตํ•˜๋Š” ๊ธฐ์กด ์‚ฌ์šฉ MFC์˜ ์œ ๋Ÿ‰ ๋ฐ ์ธก์ • ๊ธฐ์ฒด ๋ณ€๊ฒฝ ์„œ๋น„์Šค์— ๋Œ€ํ•ด

์•Œ์•„๋ณด๋„๋ก ํ•˜๊ฒ ์Šต๋‹ˆ๋‹ˆ๋‹ค.

mfc, fullscale, ์œ ๋Ÿ‰๋ณ€๊ฒฝ, ๊ธฐ์ฒด๋ณ€๊ฒฝ, ๊ฐ€์Šค๋ณ€๊ฒฝ, ์••๋ ฅ๋ณ€๊ฒฝ, ์„œ๋น„์Šค

์ตœ๋Œ€ ์œ ๋Ÿ‰(Full Scale)

Mass Flow Meter / Controller ๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•  ๋•Œ๋Š” ์œ ๋Ÿ‰์— ๋งž๋Š” ์ œํ’ˆ์„ ์‚ฌ์šฉํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์ด ์ค‘์š”ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

์ œํ’ˆ์˜ ์ตœ๋Œ€ ์œ ๋Ÿ‰(Full Scale)์ด ์œ ๋Ÿ‰ ์ธก์ •์˜ ์ •ํ™•๋„์— ํฐ ์˜ํ–ฅ์„ ๋ผ์น˜๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์ž…๋‹ˆ๋‹ค.

์˜ˆ๋ฅผ ๋“ค์–ด Full Scale 100 slm ์ œํ’ˆ์œผ๋กœ 10 slm ์˜ ์œ ๋Ÿ‰์„ ์ธก์ •ํ•˜๋Š” ๊ฒƒ๋ณด๋‹ค

Full Scale 10 slm ์˜ ์ œํ’ˆ์œผ๋กœ 10 slm ์˜ ์œ ๋Ÿ‰์„ ์ธก์ •ํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์ด ์ •ํ™•๋„ ์ธก๋ฉด์—์„œ ํ›จ์”ฌ ์œ ๋ฆฌํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

๋”ฐ๋ผ์„œ ์ œํ’ˆ์„ ๊ตฌ๋งคํ•˜๊ธฐ์ „ ์ตœ๋Œ€๋กœ ์‚ฌ์šฉํ•  ์œ ๋Ÿ‰์„ ์˜ˆ์ธกํ•˜๊ณ  ์ œํ’ˆ์„ ๊ตฌ๋งคํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์ด ์ข‹์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

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์ธก์ • ๊ธฐ์ฒด์˜ ์ข…๋ฅ˜

์œ„์— ์–ธ๊ธ‰ํ–ˆ๋˜ ๊ฒƒ์ฒ˜๋Ÿผ Mass Flow Meter / Controller ๋Š” Rotameter ์™€ ๋‹ฌ๋ฆฌ

๊ธฐ์ฒด์˜ ์˜จ๋„์™€ ์••๋ ฅ์— ๋Œ€ํ•œ ๋ณด์ƒ์ด ํ•„์š”ํ•˜์ง€ ์•Š์•„ ์ƒ๋‹นํžˆ ํŽธ๋ฆฌํ•˜๊ฒŒ ์‚ฌ์šฉ์ด ๊ฐ€๋Šฅํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

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๊ทธ๋ ‡๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ์‚ฌ์šฉ์ž๋Š” ์ œํ’ˆ์„ ๊ตฌ๋งคํ•˜๊ธฐ ์ „ ์œ ๋Ÿ‰์„ ์ธก์ •ํ•  ๊ธฐ์ฒด์˜ ์ข…๋ฅ˜๋ฅผ ๊ฒฐ์ •ํ•  ํ•„์š”๊ฐ€ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

๊ฐ ๊ธฐ์ฒด๋งˆ๋‹ค ์งˆ๋Ÿ‰์ด ๋‹ค๋ฅธ๋ฐ MFC ๊ฐ€ ํ•ด๋‹น ๊ธฐ์ฒด์˜ ์งˆ๋Ÿ‰์— ๋งž์ถฐ ๊ต์ •๋˜์–ด ์žˆ๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์ธ๋ฐ,

์˜ˆ๋ฅผ ๋“ค์–ด ์งˆ์†Œ(N2)๋กœ ๊ต์ •๋˜์–ด ์žˆ๋Š” MFC ์ œํ’ˆ์„ ์ด์šฉํ•ด ์ด์‚ฐํ™”ํƒ„์†Œ(O2)๋ฅผ ์ธก์ •ํ•˜๊ฒŒ ๋˜๋ฉด

๊ธฐ๋ณธ ์„ค์ • ๋˜์–ด ์žˆ๋Š” ์งˆ๋Ÿ‰๊ฐ’์ด ๋‹ฌ๋ผ์ง€๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ์ •ํ™•๋„์— ์˜ค์ฐจ๊ฐ€ ์ƒ๊ธธ ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

์ธํฌ๋ผ๋“œ ์œ ๋Ÿ‰ ๋ฐ ์ธก์ • ๊ธฐ์ฒด ๋ณ€๊ฒฝ ์„œ๋น„์Šค

์œ„์™€ ๊ฐ™์ด MFC ๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•  ๋•Œ๋Š” ์‚ฌ์šฉ ํ™˜๊ฒฝ์— ๋”ฐ๋ผ ์œ ๋Ÿ‰ ๋ฐ ์ธก์ • ๊ธฐ์ฒด์˜ ๊ฒฐ์ •์ด ํ•„์š”ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

ํ•˜์ง€๋งŒ MFC ๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•˜๋‹ค๊ฐ€ ์‚ฌ์šฉ ํ™˜๊ฒฝ์ด ๋ฐ”๋€Œ๊ฒŒ ๋˜๋ฉด ์–ด๋–ป๊ฒŒ ํ•ด์•ผ ํ• ๊นŒ์š”?

ํ˜„์žฌ๊นŒ์ง€๋Š” ๋Œ€๋ถ€๋ถ„์˜ ์‚ฌ์šฉ์ž๋“ค์€ ์ƒˆ๋กœ์šด ์œ ๋Ÿ‰๊ณผ ๊ธฐ์ฒด์— ๋งž๋Š” ์ƒˆ ์ œํ’ˆ์„ ๊ตฌ๋งคํ•ด์•ผ ํ–ˆ๊ณ 

๊ธฐ์กด ์ œํ’ˆ๋“ค์€ ๋‹ค์‹œ ์‚ฌ์šฉํ•  ์ˆ˜ ์—†์–ด ์ฐฝ๊ณ ์—์„œ ์žŠํ˜€์ง€๊ธฐ ๋งˆ๋ จ์ด์—ˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

๋ฌผ๋ก  ์ผ๋ถ€ ๋””์ง€ํ„ธ ์ œํ’ˆ์—๋Š” ๊ฐ€์Šค ๋ณ€๊ฒฝ์— ๋”ฐ๋ฅธ ์งˆ๋Ÿ‰๊ฐ’์„ ์ž๋™์œผ๋กœ ๋ณ€๊ฒฝํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ๊ธฐ๋Šฅ์ด ์žˆ์ง€๋งŒ,

์ด ์ œํ’ˆ๋“ค๋„ ์ตœ๋Œ€ ์œ ๋Ÿ‰(Full Scale)์„ ๋ณ€๊ฒฝํ•˜๋Š”๊ฒƒ์€ ๊ฐ€๋Šฅํ•˜์ง€ ์•Š์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

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ํ„ฐ์น˜์Šคํฌ๋ฆฐ์„ ์ด์šฉํ•ด ๊ฐ„ํŽธํ•˜๊ฒŒ ์‚ฌ์šฉ ๊ธฐ์ฒด ๋ณ€๊ฒฝ์ด ๊ฐ€๋Šฅํ•œ ๋””์ง€ํ„ธ MFC

๋”ฐ๋ผ์„œ ๊ธฐ์กด ์‚ฌ์šฉ์ž๋“ค์˜ ํŽธ์˜๋ฅผ ์œ„ํ•ด ์ธํฌ๋ผ๋“œ๋Š” ์œ ๋Ÿ‰ ๋ฐ ์ธก์ • ๊ธฐ์ฒด ๋ณ€๊ฒฝ ์„œ๋น„์Šค๋ฅผ ์‹ค์‹œํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

๊ธฐ์กด์— ๋ณด์œ ์ค‘์ธ MFC ์ œํ’ˆ์˜ ์œ ๋Ÿ‰์ด๋‚˜ ์‚ฌ์šฉ ์••๋ ฅ, ์‚ฌ์šฉ ๊ธฐ์ฒด ๋ณ€๊ฒฝ์„ ํ†ตํ•ด

์ƒˆ ์ œํ’ˆ์„ ๊ตฌ๋งคํ•˜๋Š” ๋น„์šฉ๋ณด๋‹ค ํ›จ์”ฌ ์ €๋ ดํ•˜๊ฒŒ ๊ธฐ์กด ์ œํ’ˆ์„ ์‚ฌ์šฉํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.

์นดํ…Œ๊ณ ๋ฆฌ

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