우리는 지난 시간에는 반도체 제조 공정 중, MFC가 사용되는 박막 증착(Thin Film deposition)과정과 식각(Etching)과정 에 대해 알아보았습니다. 반도체 제조 과정 중 MFC가 사용되는 박막 증착 과정(Thin Film...

MFC를 기반으로 한 기체 유량 및 진공 측정 솔루션을 제공하는 인포라드는 더 쉽고 편리한 사용 환경을 위해 다양한 소프트웨어를 개발하고 있습니다. 이번 시간에는 Mass Flow Meter/Mass Flow Controller의 유량 측정 및...