MFM/MFC 유량 측정 및 제어, 진공도 측정 및 데이터 로깅 소프트웨어 Gasmon 소개
MFC를 기반으로 한 기체 유량 및 진공 측정 솔루션을 제공하는 인포라드는 더 쉽고 편리한 사용 환경을 위해 다양한 소프트웨어를 개발하고 있습니다.
이번 시간에는 Mass Flow Meter/Mass Flow Controller의 유량 측정 및 유량 제어, 그리고 진공 센서에서의 진공도를 실시간으로 측정하고, 측정 데이터의 로깅까지 가능한 Gasmon 소프트웨어에 대해 알아보겠습니다.
Gasmon
MFM/MFC 유량 측정 & 제어, 진공 센서를 이용한 진공도 측정과 측정 데이터의 데이터로깅 기능을 제공하는 Gasmon 소프트웨어의 기능 소개 영상
Gasmon은 Teledyne Hastings사의 Mass Flow Meter/Controller인 300B Series와 진공 측정기 HVG-2020 Series, DAVC, 그리고 Alicat사의 Mass Flow Meter/Controller의 유량 측정 및 제어와 진공도를 측정하는 소프트웨어입니다.
다채널 측정이 가능해 여러대의 센서로부터 동시에 측정값을 받아 한 화면에 표시하는 것이 가능하며, 원격 측정도 가능한 것이 장점입니다.
측정 시 해당 챔버 데이터와 시간 입력을 통해 Permeance & Flux 값을 자동으로 계산해 나타냅니다.
측정 데이터 및 Permeance & Flux 값은 설정 시간에 맞춰 엑셀 파일로 추출이 가능합니다.
Gasmon 소프트웨어가 제공하는 기능은 다음과 같습니다.
- Mass Flow Meter(300B Mass Flow Meter/Alicat)의 유량 측정
- Mass Flow Controller(300B Sereis/Alicat)의 유량 측정 및 제어
- Vacuum Gauge(HVG-2020 Sereis, Digital AVC Series)의 진공값 출력
- 측정한 데이터의 수집 및 저장
- 측정한 데이터를 표와 그래프로 실시간 표시
- 표시된 표와 그래프를 이미지 파일로 추출 가능
- Permeance & Flux 값 자동 계산 가능
- 네트워크 연결을 설정하면 GasWeb에 연동해 측정값 확인 가능
- 데이터 검색 기능
Gasmon 소프트웨어와 연동되는 제품은 다음과 같습니다.
- Teledyne Hastings 300B Series(MFM/MFC)
- Teledyne Hastings HVG-2020 Series, Digital AVC Series Vacuum Gauge
- Alicat Mass Flow Series(MFM/MFC)
Permeance & Flux 기능
Permenace & Flux 기능은 Gasmon에서 로깅한 데이터값을 바탕으로 가스 매개 변수를 설정하고 자동으로 계산할 수 있는 기능입니다.
퍼미넌스는 일반적으로 물질이 물질 또는 에너지의 흐름을 허용하는 정도를 말하며, 플럭스는 공간에서의 어떤 물리적 성질의 흐름을 뜻합니다.
Gasmon 소프트웨어에서 측정한 데이터를 활용하여, 수식에 측정하고자 하는 챔버의 부피, 온도, 압력, 계산하고자 하는 넓이와 측정 시간을 입력하면 퍼미넌스와 플럭스 값을 자동으로 계산할 수 있습니다.
Gasmon의 Permeance & Flux 기능
Gasmon의 메뉴얼 및 인포라드에서 제공하는 다양한 종류의 데이터 측정 관련 소프트웨어에 관한 소개 페이지는 아래 링크를 이용하시기 바랍니다.
인포라드는 Gasmon 외에도 다양한 종류의 데이터 측정 관련 소프트웨어를 개발 및 제공하고 있습니다.
Data Acquisition Software에 문의는 아래 링크를 이용하시기 바랍니다.
