우리는 지난 시간에는 반도체 제조 공정 중, MFC가 사용되는 박막 증착(Thin Film deposition)과정과 식각(Etching)과정 에 대해 알아보았습니다. 반도체 제조 과정 중 MFC가 사용되는 박막 증착 과정(Thin Film...

질량 유량계, 질량 유량 제어기 라고 불리는 Mass Flow Meter / Mass Flow Controller 장비는 가스와 같은 기체의 유량을 측정하고 제어하는데 사용됩니다. 특히 기체의 유량을 제어할 수 있는 MFC는 기체를 지정한 유량만...

진공 펌프를 이용해 챔버를 진공 상태로 만든 후 가스를 넣어줄 수 있는 실험 자재인 Permeation Setup System을 소개합니다. 해당 장비는 모 대학 연구소의 의뢰로 제작되었으며, 기체 투과실험에 사용될 예정입니다. 사용된 제품 유량...