[Case] Vacuum - Mass Flow - Permeation System 설치
진공 펌프를 이용해 챔버를 진공 상태로 만든 후 가스를 넣어줄 수 있는 실험 자재인 Permeation Setup System을 소개합니다.
해당 장비는 모 대학 연구소의 의뢰로 제작되었으며, 기체 투과실험에 사용될 예정입니다.
사용된 제품
유량 측정과 제어를 위해Teledyne Hastings 사의 HFC-202 Mass Flow Controller가 사용되었고, 정확한 진공도를 측정하기 위해 역시 Teledyne Hastings 사의 진공 측정기인 HVG-2020B 제품이 사용되었습니다.
HFC-202 제품은 스테인레스강 재질로 다양한 부식성 가스에도 적합하고, 1,000 psig의 압력에 견딜 수 있으며 아날로그 출력을 지원합니다.
±(1% Full Scale)의 정확도를 가지고 있으며, 0~10 sccm(0~0.75 g/hr)에서 25 slm(1.87 kg/hr)까지의 측정 범위를 가지고 있습니다.
HVG-2020B 제품은 Piezo Sensor와 Pirani Sensor, 2개의 센서를 사용하는듀얼 센서 방식으로 1,000 torr(133,322.3 Pa) 부터 0.1 mtorr(0.1333 Pa) 미만의 매우 넓은 범위에서 안정적이고 정확한 측정이 가능합니다.
또한 전면부에 Touchscreen 옵션이 추가되어 다양한 View와 작동 옵션을 제공합니다.
가스 접촉부는 스테인레스 스틸 제질로 되어 있으며, 다양한 현장 상황에 적합한 Analog와 Digital Output을 제공합니다.
HVG-2020B 제품은 고급 압력 저항 센서를 기반으로 진동막에 가스에 의해 좌우되는 힘을 감지해 압력과 압전 재료 번화의 저항값을 측정하기 때문에 가스 성분이 바뀌어도 보정 작업 없이 측정이 가능합니다.
제품 소개
제품은 Permeation 파트와 Banari 파트로 나누어져 있습니다.
두 파트는 각기 따로 구동되지만 공간의 절약을 위해 하나의 렉으로 조립되었습니다.
또한 대부분의 Permeation 제품들은 벽 부착식으로 제작되는 경우가 많았지만 인포라드에서는 스탠드 형식으로 제작해 제품 사용 중 생길 수 있는 제품 이동에도 대응할 수 있도록 했습니다.
Permeation 파트에는 진공도 측정을 위한 HVG-2020B 제품이 부착되어 있으며, 센서에 기체가 한꺼번에 유입되어 압력이 높아지는 현상을 방지하기 위한 Chamber가 함께 설치되어 있습니다.
또한 압력 센서와 Back Pressure Regulator가 부착되어 Permeation 시스템 내부에 일정 이상의 압력이 발생하는 것을 방지할 수 있도록 제작되었습니다.
인포라드는 해당 시스템에서 사용 가능한 Single Permeation 소프트웨어를 함께 제공했습니다.
Gasmon 소프트웨어는 Permeance & Flux Calculator 기능을 제공하며, Input Data를 입력하는 것만으로 측정 결과 내에서 원하는 시간대의 Flux 값을 자동으로 계산할 수 있습니다.
인포라드에서 함께 제공한 유량 및 진공 측정 소프트웨어 Gasmon
소프트웨어에 대한 자세한 내용은 사진을 클릭 또는 아래 링크 참고
제품 상세
제품명 : HFC-202 Mass Flow Controller
유량 범위 : 0~10 sccm(0~0.75 g/hr) to 0~25 slm(0~1.87 kg/hr) (N2 기준)
사용 환경 : 기체 유량 측정 및 제어용
제품명 : HVG-2020B
진공도 : 1,000 torr(133,322.3 Pa) ~ 0.1 mtorr(0.1333 Pa)
사용 환경 : 진공 / 압력 테스트용
제품에 대한 더 자세한 정보 및 문의는 아래의 링크를 참고하시기 바랍니다.
