Mass Flow Controller 는 기본적으로 기체의 유량을 측정 및 제어하는 용도로 쓰이지만, 진공 센서와 같은 다른 종류의 센서와 함께 사용할 수도 있다는 것을 아십니까? 이번 시간에는 MFC 를 이용해 진공도를 제어하는 방법에 대해 알아보도록 하겠습니다. 어떻게 MFC 를 이용해서 진공도를 제어할까? MFC 를 이용해 진공도를 제어하는 방법은 기본적으로 진공 센서와 MFC 를 연동시키는 것에서부터 시작됩니다. 진공 센서와 MFC 모두 0~5 volt 아날로그 통신이 가능하기 때문에 두 장비의 연동이 가능합니다. * 설정에 따라 0~10 volt 와 0~20mA 통신도 가능합니다. 챔버에 진공 센서를 부착하고 챔버를 진공 상태로 만든 후, MFC 에 원하는 셋팅값을 입력해 챔버 내로 유량을 흘려주어 진공도를 조절할 수 있는 것입니다. 진공도를 제어하기 위해 필요한 장비들 MFC 를 이용해 진공도를 제어하기 위해서는 챔버와 진공 센서, 센서

0 ~ 5VDC Output으로 신호를 받을 때, THCD-100와 HFM 간의 케이블 길이 는 100feet/ 200feet까지 제작이 가능 합니다. 만일 50 피트이상으로 케이블 길이가 길어질경우 Pin 5&6에 1 µF capacitor를 사용합니다. 다른 궁금한 점 있으면 언제든 연락 바랍니다. 기술 지원 Contact Point 이메일 : tech@inforad.co.kr 전화 : 070-4640-2585 www.inforad.co.kr #FAQ #MassFlow #THCD100

24VDC 전원 INPUT원하실 경우, 주문시 옵션을 선택하면 가능 합니다. THCD-100 과 연결은 아래와 같이 하면 됩니다. HFM-200 (24 vdc) THCD-100 2 6 3 14 4 12 7 13 8 5 9

THCD-100 과 Display X 연동시, RS232 Cable 연결은 아래와 같습니다. 관련 도면 : https://drive.google.com/open?id=0B31fWB7SZudGNWZ3c0VuLTJBRTQ 다른 궁금한 점 있으면 언제든 연락 바랍니다. 기술 지원 Contact Point 이메일 : tech@inforad.co.kr 전화 : 070-4640-2585 www.inforad.co.kr #FAQ #THCD100 #Vacuum #Gauge