MFC를 이용해 챔버 내의 진공도를 제어하는 Process Variable 기능

Mass Flow Controller 는 기본적으로 기체의 유량을 측정 및 제어하는 용도로 쓰이지만,

 

진공 센서와 같은 다른 종류의 센서와 함께 사용할 수도 있다는 것을 아십니까?
 

 

이번 시간에는 MFC 를 이용해 진공도를 제어하는 방법에 대해 알아보도록 하겠습니다.

 

 

 

어떻게 MFC 를 이용해서 진공도를 제어할까?

 

 

MFC 를 이용해 진공도를 제어하는 방법은 기본적으로

 

진공 센서와 MFC 를 연동시키는 것에서부터 시작됩니다.

 

진공 센서와 MFC 모두 0~5 volt 아날로그 통신이 가능하기 때문에 두 장비의 연동이 가능합니다.

 

* 설정에 따라 0~10 volt 와 0~20mA 통신도 가능합니다. 

 

 

챔버에 진공 센서를 부착하고 챔버를 진공 상태로 만든 후,

 

MFC 에 원하는 셋팅값을 입력해 챔버 내로 유량을 흘려주어 진공도를 조절할 수 있는 것입니다.

 

 

 

 

진공도를 제어하기 위해 필요한 장비들

 

 

MFC 를 이용해 진공도를 제어하기 위해서는 챔버와 진공 센서,

 

센서의 전원 공급과 진공값을 읽을 수 있는 리딩 및 전원 공급 장치, 그리고 MFC 가 필요합니다.

 

우리는 챔버 및 다음과 같은 장비들을 이용해 실험해 보도록 하겠습니다.

 

1. HPM-760S 진공 센서

 

2. 센서의 전원 공급 및 진공값을 리딩할 THCD-100 전원 공급 장치

 

3. 챔버 안에 유량을 흘려 진공도를 제어할 HFC-D-302B

 

 

 

장비 연결

 

 

장비들을 모두 연결하기 위해서는 진공 센서와 THCD-100 장비,

 

그리고 THCD-100 장비와 Interface Connector, 그리고 MFC 장비를 연결해야 합니다.

 

우선 THCD 와 Interface Connector 를 연결합니다.

 

THCD-100 의 Interface Connector 1번과 5번 핀은

 

Transducer Connector 의 5번과 6번 핀 값이 나옵니다.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 그리고 Interface Connector 의 1번과 5번 핀을 MFC 의 1번과 8번 핀에 연결합니다.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

HFC-302B 의 Set Point 를 100으로 설정하면 밸브를 열어 챔버내에 가스를 흘리기 시작하고

 

챔버에 부착된 HPM-760S 가 100 Torr 를 측정하게 되면 밸브를 닫습니다.

 

이것은 위에 언급한 것처럼 0 ~ 5 volt 아날로그 입출력으로 두 장비가 연동이 가능하기 때문입니다.

 

 

 

설치 및 제어 동영상

 

 

아래 동영상은 진공도를 제어하기 위해 HFC-302A 제품의 터치스크린 패널을 이용해

 

설정하는 작업 영상입니다.

 

 

 

아래 동영상은 챔버 내의 진공도를 50 Torr 이하로 제어하는 동영상입니다.

 

 

 

 

응용 분야

 

 

주 용도는 챔버 안의 진공도를 일정한 상태로 유지시키는 용도로 쓰일 수 있습니다.

 

연구실에서는 교정을 진행할 때 사용이 가능합니다.

 

Baratron Gauge 를 이용한 HPM-760S 제품과 HPM-2002-OBE 를 교정할 경우,

 

구간별 교정에 유용할 것입니다.

 

 

주의할 점은 진공 센서와 MFC 의 종류에 따라 조절값이 불안정할 수 있기 때문에

 

사용자가 더욱 빠르고 세밀한 제어를 원할 경우, MFC 의 PID Control 을 진행해 주는 것이 도움이 됩니다.

 

 

 

 

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