가스 제어 시스템을 설계하거나 운영하다 보면, 이론과 실제 현장이 부딪히는 순간들을 마주하게 됩니다. 특히 유량을 높이면서 동시에 높은 압력을 유지해야 하는 극한의 환경에서는 다양한 문제가 발생하게 되죠. 유량계를 바꿔보고, 레귤레이터를 조정해 보고, 공급 압력도 올려봅니다. 그래도 해결이 안 될 때, 한 가지 꼭 확인해 봐야 할 수치가 있습니다. 바로 Cv 값입니다. Cv 값이란? Cv 값(Valve Flow Coefficient)은 "밸브/배관이 유체를 얼마나 잘 통과시키는가"를 나타내는 숫자입니다. 정확하게는 1 psi의 압력 차이에서 60°F의 물이 1분에 1갤런 흐를 수 있을 때, 그 밸브의 Cv를 1이라고 정의합니다. 이 숫자가 클수록 유체가 저항 없이 잘 흐르고, 작을수록 병목이 일어납니다. 도로의 차선 수로 예를 들어보겠습니다. Cv가 큰 밸브 = 8차선 고속도로. 차(가스)가 막힘없이 콸콸 지나감 Cv가 작은 밸브 = 1차선

우리는 지난 시간에는 반도체 제조 공정 중, MFC가 사용되는 박막 증착(Thin Film deposition)과정과 식각(Etching)과정 에 대해 알아보았습니다. 반도체 제조 과정 중 MFC가 사용되는 박막 증착 과정(Thin Film...

질량 유량계, 질량 유량 제어기 라고 불리는 Mass Flow Meter / Mass Flow Controller 장비는 가스와 같은 기체의 유량을 측정하고 제어하는데 사용됩니다. 특히 기체의 유량을 제어할 수 있는 MFC는 기체를 지정한 유량만...