Load-Lock 시스템의 작동 환경을 개선하는 방법
진공 시스템을 다룰 때 Load-Lock이라는 용어를 들어본 적 있나요? Load-Lock은 주로 진공 환경에서 사용하는데, 챔버의 특정 장비나 시스템을 개방하지 않고도 샘플이나 부품을 추가하거나 제거할 수 있는 장치를 뜻합니다....
피라니 게이지(Pirani Vacuum Gauge)란 뭘까요?
진공도를 측정할 때 사용되는 센서 중, 피라니(Pirani) 센서를 들어본 적 있나요? 피라니 진공 게이지(Pirani Vacuum Gauge)는 열전도 게이지의 일종으로, '열 전달 게이지' 로 불리기도 합니다. 이번 시간에는 다양한 진공 기술...
MFC를 이용해 진공도를 제어한다. Process Variable 기능
Mass Flow Controller는 열식 질량 유량 제어기로 기체에 대한 유량 측정 및 제어에 사용되는 제품입니다. 일정한 진공펌프의 Pumping Speed / Throughout를 알고 있다면, 유량 조절로 원하는 진공도를 제어가 가능하기...