MFC를 이용해 진공도를 제어한다. Process Variable 기능
Mass Flow Controller는 열식 질량 유량 제어기로 기체에 대한 유량 측정 및 제어에 사용되는 제품입니다. 일정한 진공펌프의 Pumping Speed / Throughout를 알고 있다면, 유량 조절로 원하는 진공도를 제어가 가능하기...
MFM과 MFC에 가스 변환 계수(GCF - Gas Conversion Factors)를 적용하는 방법
Teledyne hastings 사의 Mass Flow Meter / Controller 를 사용하면 기체의 유량을 빠르고 정확하게 측정할 수 있습니다. 대부분의 경우 하나의 질량 유량 측정기에 한 종류의 가스를 사용하지만 한 기기에 다른 종류의...
화합물 사전 - 육플루오린화황(Sulfur hexafluoride)
Teledyne hastings 사의 Mass Flow Meter / Controller 를 이용해 가스 유량을 측정할 수 있는 가스 화합물의 종류에 대해 알아보는 시간입니다. 이번 시간에는 유틸리티 산업에서 가장 중요한 기체중 하나인 원소기호...