Mass Flow Controller는 열식 질량 유량 제어기로 기체에 대한 유량 측정 및 제어에 사용되는 제품입니다. 일정한 진공펌프의 Pumping Speed / Throughout를 알고 있다면, 유량 조절로 원하는 진공도를 제어가 가능하기...