진공 장비나 연구용 챔버를 설계할 때, 엔지니어들이 가장 깊게 고민하는 부품 중 하나는 '진공 센서’입니다. 측정하려는 압력 대역, 사용 가스의 종류, 예산, 그리고 유지보수 환경까지 고려해야 할 변수가 너무 많기 때문입니다.  다양한 진공 범위 오늘은 다양한 진공 센서 타입에 대해서 알아보고, 각자 장비에 딱 맞는 합리적인 센서를 선택하는 방법을 알아보겠습니다. 1. 가장 정확한 센서, 캐패시턴스 마노메터 (Capacitance Manometer) 진공도를 측정할 때 가장 정확한 센서 를 꼽으라면 단연 캐패시턴스 압력계(Capacitance Manometer, CDG)입니다. 장점:  이 센서는 기체의 열전도도가 아닌 막이 휘어지는 물리적 힘(정전 용량)을 측정합니다. 따라서 측정 챔버 내의 가스 종류나 조성비가 바뀌어도 전혀 영향을 받지 않고 아주 정밀한 측정 이 가능합니다.  단점:  하지만 현장에서 이를 메인으로 쓰기에는 몇 가지 큰 장벽이

열전대 진공 게이지를 아시나요? 열전대 진공 게이지는 서로 다른 금속을 연결했을 때 한 금속에서 다른 금속으로 열이 전달되면서 저기 기저력이 발생하는 열전대 현상을 이용하는 진공 센서를 말합니다. 이번 시간에는 열전대 진공 게이지에 대해...

진공 시스템을 다룰 때 Load-Lock이라는 용어를 들어본 적 있나요? Load-Lock은 주로 진공 환경에서 사용하는데, 챔버의 특정 장비나 시스템을 개방하지 않고도 샘플이나 부품을 추가하거나 제거할 수 있는 장치를 뜻합니다....

진공도를 측정할 때 사용되는 센서 중, 피라니(Pirani) 센서를 들어본 적 있나요? 피라니 진공 게이지(Pirani Vacuum Gauge)는 열전도 게이지의 일종으로, '열 전달 게이지' 로 불리기도 합니다. 이번 시간에는 다양한 진공 기술...