우리가 진공도를 측정하고 싶을 때 가장 간편한 방법은 진공 게이지를 이용하는 것입니다. 챔버에 진공 게이지를 설치하기만 하면 되기 때문에 매우 편리하게 사용할 수 있는데, 이번 시간에는 진공 게이지의 종류 중 캐패시턴스 압력계(Capacitance Manometer)에 대해 알아보도록 하겠습니다. 캐패시턴스 압력계(Capacitance Manometer) 캐패시턴스 압력계는 압력과 진공 모두 측정할 수 있는 전기 기계식 게이지로 압력과 진공 측정에 많이 사용되고 있습니다. 이 게이지는 얇은 다이어프램의 압력 변화 움직임을 압력에 비례하는 전기 신호로 변환합니다. 여기서 다이어프램(Diaphragm)이란 금속 또는 비금속 탄성체인 막을 뜻하는데, 이 막은 챔버 내의 압력에 의해 휘어지게 되고 이 때 발생하는 전기 용량 차이를 전기 신호로 변환해 압력으로 환산합니다. 다이어프램(Diaphragm)을 이용한 캐패시턴스 압력계(Capacitance Man

우리는 진공값을 측정해야 할 때 여러 브랜드에서 출시된 다양한 종류의 진공 게이지들을 사용하고 있습니다. 이번 시간에는 진공 측정에 주로 사용되는 몇가지 종류의 게이지들을 대상으로 일정 압력에서의 측정값을 비교해보는 시간을 갖도록 하겠습니다. 비교 대상 및 대상의 설명, 실험 환경 1 : 1,000 Torr Capacitance(Baratron) 2: Teledyne Hastings 2020B 3 : Convection 일반적으로 진공 측정기를 사용해 진공값을 측정하는 진공 범위에서는 진공도 변화에 따른 내부 회로의 정전 용량 변화량 측정 방식의 캐패시턴스 게이지(Capacitance - Baratron)와 기체가 열을 이동시키는 대류작용을 이용한 Convection (대류 게이지), 두 가지 센서가 사용되고 있습니다. 1,000 Torr 캐패시턴스 게이지는1 Torr 미만에에서 사용 할 수 없기에, 추가의 1 Torr 캐패시턴스 게이지가 필요해

일반적으로 진공도를 측정해야 하는 경우, 피라니 센서(Pirani Sensor)를 이용한 컨벡션 게이지(Convection Gauge)를 사용하는 경우가 많습니다. 이번 시간에는 피라니 게이지의 문제점과 그에 대한 대안을 알아보도록 하겠습니다. 피라니 컨벡션 게이지(Pirani Convection Gauge) 피라니 게이지는 센서 내부에 있는 일정 온도의 와이어가 기체의 열전도 현상으로 인한 열손실을 감지해 압력을 측정하는 방식으로 가장 큰 장점으로는 저렴한 가격을 들 수 있습니다. 하지만 치명적인 단점들이 존재하는데 그것 중 하나가 바로 정확도입니다. 컨벡션 게이지의 정확도는 고진공 보다는 저진공에서 더 큰 문제를 가지고 있습니다. 또한 설치시에도 진동에 민감하며, 꼭 수평으로 설치해야만 하는 불편함이 존재합니다. 피라니 게이지에 대한 단점은 아래와 같습니다. - 대기압에서 불안정한 측정값을 나타냅니다. - 응답 속도가 보통 500 밀리초(Mil

Teledyne Hastings 사는 Piezo Sensor 기반의 진공 측정기인 HPM-760S 를 단종시킴과 동시에 더 강력한 성능의 HPM-2020A 제품을 출시했습니다. 이번 시간에는 HPM-2020A 에 대해서 알아보도록 하겠습니다. 제품 소개 HPM-2020A 는 가스 독립 측정 방식을 통해 0.1 ~ 1000 Torr 에 이르는 저진공 영역에서 정확한 압력을 측정할 수 있는 Piezo 센서 기반의 진공 측정기입니다. HPM-2020A 는 열 전도도를 측정해 판독값으로 압력을 계산하는 방식의 진공 측정기들과는 달리 사용되는 가스의 종류와 상관 없이 챔버 내의 압력을 직접 측정합니다. 예를 들어 HPM-2020A 가 질소에 대한 진공도를 측정한 값은 동일한 상태에서 질소가 헬륨이나 이산화탄소로 변경되더라도 변환 계수를 사용할 필요 없이 동일한 값을 측정한다는 이야기입니다. 또한 선택적으로 Touch Screen Panel 을 설치할 수 있