ํํฉ๋ฌผ ์ฌ์ - ํฌ์คํ(Phosphine)
Teledyne hastings ์ฌ์ Mass Flow Meter / Controller ๋ฅผ ์ด์ฉํด ๊ฐ์ค ์ ๋์ ์ธก์ ํ ์ ์๋ ๊ฐ์ค ํํฉ๋ฌผ์ ์ข
๋ฅ์ ๋ํด ์์๋ณด๋ ์๊ฐ์
๋๋ค. ์ด๋ฒ ์๊ฐ์๋ ํํ์ PH3 ์ธ ํฌ์คํ์ ๋ํด ์์๋ณด๋๋ก ํ๊ฒ ์ต๋๋ค....
ํํฉ๋ฌผ ์ฌ์ - ํฌ์ค๊ฒ(Phosgene)
Teledyne hastings ์ฌ์ Mass Flow Meter / Controller ๋ฅผ ์ด์ฉํด ๊ฐ์ค ์ ๋์ ์ธก์ ํ ์ ์๋ ๊ฐ์ค ํํฉ๋ฌผ์ ์ข
๋ฅ์ ๋ํด ์์๋ณด๋ ์๊ฐ์
๋๋ค. ์ด๋ฒ ์๊ฐ์๋ ํํ์ COCl2 ์ธ ํฌ์ค๊ฒ์ ๋ํด ์์๋ณด๋๋ก...
ํํฉ๋ฌผ ์ฌ์ - ํ๋(Phenol)
Teledyne hastings ์ฌ์ Mass Flow Meter / Controller ๋ฅผ ์ด์ฉํด ๊ฐ์ค ์ ๋์ ์ธก์ ํ ์ ์๋ ๊ฐ์ค ํํฉ๋ฌผ์ ์ข
๋ฅ์ ๋ํด ์์๋ณด๋ ์๊ฐ์
๋๋ค. ์ด๋ฒ ์๊ฐ์๋ ํํ์ C6H6O ์ธ ํ๋์ ๋ํด ์์๋ณด๋๋ก...
ํํฉ๋ฌผ ์ฌ์ - ํํ ์ธ(Pentane)
Teledyne hastings ์ฌ์ Mass Flow Meter / Controller ๋ฅผ ์ด์ฉํด ๊ฐ์ค ์ ๋์ ์ธก์ ํ ์ ์๋ ๊ฐ์ค ํํฉ๋ฌผ์ ์ข
๋ฅ์ ๋ํด ์์๋ณด๋ ์๊ฐ์
๋๋ค. ์ด๋ฒ ์๊ฐ์๋ ํํ์ C5H12 ์ธ ํํ
์ธ์ ๋ํด ์์๋ณด๋๋ก...
ํํฉ๋ฌผ ์ฌ์ - ์ค์กด(Ozone)
Teledyne hastings ์ฌ์ Mass Flow Meter / Controller ๋ฅผ ์ด์ฉํด ๊ฐ์ค ์ ๋์ ์ธก์ ํ ์ ์๋ ๊ฐ์ค ํํฉ๋ฌผ์ ์ข
๋ฅ์ ๋ํด ์์๋ณด๋ ์๊ฐ์
๋๋ค. ์ด๋ฒ ์๊ฐ์๋ ํํ์ O3 ์ธ ์ค์กด์ ๋ํด ์์๋ณด๋๋ก ํ๊ฒ ์ต๋๋ค....
ํํฉ๋ฌผ ์ฌ์ - ์ฐ์(Oxygen)
Teledyne hastings ์ฌ์ Mass Flow Meter / Controller ๋ฅผ ์ด์ฉํด ๊ฐ์ค ์ ๋์ ์ธก์ ํ ์ ์๋ ๊ฐ์ค ํํฉ๋ฌผ์ ์ข
๋ฅ์ ๋ํด ์์๋ณด๋ ์๊ฐ์
๋๋ค. ์ด๋ฒ ์๊ฐ์๋ ํํ์ O2 ์ธ ์ฐ์์ ๋ํด ์์๋ณด๋๋ก ํ๊ฒ ์ต๋๋ค....