우리가 진공도를 측정하고 싶을 때 가장 간편한 방법은 진공 게이지를 이용하는 것입니다. 챔버에 진공 게이지를 설치하기만 하면 되기 때문에 매우 편리하게 사용할 수 있는데, 이번 시간에는 진공 게이지의 종류 중 캐패시턴스 압력계(Capacitance Manometer)에 대해 알아보도록 하겠습니다. 캐패시턴스 압력계(Capacitance Manometer) 캐패시턴스 압력계는 압력과 진공 모두 측정할 수 있는 전기 기계식 게이지로 압력과 진공 측정에 많이 사용되고 있습니다. 이 게이지는 얇은 다이어프램의 압력 변화 움직임을 압력에 비례하는 전기 신호로 변환합니다. 여기서 다이어프램(Diaphragm)이란 금속 또는 비금속 탄성체인 막을 뜻하는데, 이 막은 챔버 내의 압력에 의해 휘어지게 되고 이 때 발생하는 전기 용량 차이를 전기 신호로 변환해 압력으로 환산합니다. 다이어프램(Diaphragm)을 이용한 캐패시턴스 압력계(Capacitance Man