우리가 진공도를 측정하고 싶을 때 가장 간편한 방법은 진공 게이지를 이용하는 것입니다. 챔버에 진공 게이지를 설치하기만 하면 되기 때문에 매우 편리하게 사용할 수 있는데, 이번 시간에는 진공 게이지의 종류 중 캐패시턴스 압력계(Capacitance Manometer)에 대해 알아보도록 하겠습니다. 캐패시턴스 압력계(Capacitance Manometer) 캐패시턴스 압력계는 압력과 진공 모두 측정할 수 있는 전기 기계식 게이지로 압력과 진공 측정에 많이 사용되고 있습니다. 이 게이지는 얇은 다이어프램의 압력 변화 움직임을 압력에 비례하는 전기 신호로 변환합니다. 여기서 다이어프램(Diaphragm)이란 금속 또는 비금속 탄성체인 막을 뜻하는데, 이 막은 챔버 내의 압력에 의해 휘어지게 되고 이 때 발생하는 전기 용량 차이를 전기 신호로 변환해 압력으로 환산합니다. 다이어프램(Diaphragm)을 이용한 캐패시턴스 압력계(Capacitance Man

우리는 진공값을 측정해야 할 때 여러 브랜드에서 출시된 다양한 종류의 진공 게이지들을 사용하고 있습니다. 이번 시간에는 진공 측정에 주로 사용되는 몇가지 종류의 게이지들을 대상으로 일정 압력에서의 측정값을 비교해보는 시간을 갖도록 하겠습니다. 비교 대상 및 대상의 설명, 실험 환경 1 : 1,000 Torr Capacitance(Baratron) 2: Teledyne Hastings 2020B 3 : Convection 일반적으로 진공 측정기를 사용해 진공값을 측정하는 진공 범위에서는 진공도 변화에 따른 내부 회로의 정전 용량 변화량 측정 방식의 캐패시턴스 게이지(Capacitance - Baratron)와 기체가 열을 이동시키는 대류작용을 이용한 Convection (대류 게이지), 두 가지 센서가 사용되고 있습니다. 1,000 Torr 캐패시턴스 게이지는1 Torr 미만에에서 사용 할 수 없기에, 추가의 1 Torr 캐패시턴스 게이지가 필요해