ํฌ๋ฅจ์ ์ด์ฉํด ์ง๊ณต ๋์ค์ ๊ฐ์งํ๋ ๋ฐฉ๋ฒ
์ง๊ณต์ ๋ค๋ฃจ๋ค๋ณด๋ฉด ํญ์ ์ ๊ฒฝ์จ์ผ ํ๋ ๋ถ๋ถ์ด ๊ธฐ๋ฐ๊ณผ ๋์ค์ ๋๋ค.
์ง๊ณต ์์คํ ์ ๊ธฐ๋ฐ์ด ์ ์ง๋์ด์ผ ์ง๊ณต์ด ์ ์ง๋ ์ ์๊ณ , ์ ํ์ฑ๊ณผ ํจ์จ์ฑ, ์์ ๋ฑ์ ์ํด์๋ ์์คํ ์ ๋์ ๊ธฐ๋ฐ์ฑ์ด ์๊ตฌ๋๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๊ฐ์ฅ ๊ธฐ๋ณธ์ ์ด๋ฉด์๋ ์ค์ํ ์์๋ผ๊ณ ํ ์ ์์ต๋๋ค.
๊ทธ๋ผ ๊ธฐ๋ฐ์ ๋ฐ์์ ์ด๋ป๊ฒ ํ์ธํ ์ ์์๊น์?
๋ฌผ๋ก ์์คํ ์ ์ง๊ณต๋๊ฐ ๋์ ๋๊ฒ ๋ด๋ ค๊ฐ๋ฉด ๋ฐ๋ก ํ์ธ์ด ๊ฐ๋ฅํ์ง๋ง, ์์คํ ์ ์์ฑ๋๋ฅผ ๋์ด๊ธฐ ์ํด์๋ ๋์ค ํ ์คํธ๋ฅผ ์งํํ๋ ๊ฒ์ด ๋ฐ๋์งํฉ๋๋ค.
๋์ค ๊ฐ์ง์๋ ๋น๋๋ฌผ์ ๊ฑฐํ์ ์ด์ฉํ ๋ฐฉ๋ฒ๋ถํฐ ์ด์ํ๋ ํฌ๋ฅจ์ ์ด์ฉํ๋ ๋ฐฉ๋ฒ ๋ฑ, ๋ค์ํ ๋ฐฉ๋ฒ๋ค์ด ์ด์ฉ๋๋๋ฐ, ์ด๋ฒ ์๊ฐ์๋ ํฌ๋ฅจ์ ์ด์ฉํ ์ง๊ณต ๋์ค ๊ฐ์ง ๋ฐฉ๋ฒ์ ๋ํด ์์๋ณด๊ฒ ์ต๋๋ค.
ํฌ๋ฅจ ๋์ค ํ ์คํธ
๋์ค ํ ์คํธ๋ ์์คํ ์ ๋์ค ์ฌ๋ถ๋ฅผ ๊ฒ์ฆํ๊ธฐ ์ํ ๋นํ๊ดด ๊ฒ์ฌ ๋ฐฉ๋ฒ ์ค ํ๋๋ก ์์คํ ์ ์ก์ฒด๋ ๊ธฐ์ฒด๊ฐ ์๋ ๊ณณ์ด ์๋์ง ์ฌ์ ์ ๊ฒ์ฌํด ๋ถ๋์ ์ฐพ์๋ด๋ ๊ฒ์ ๋๋ค.
ํฌ๋ฅจ ๋์ค ํ ์คํธ๋ ์์ ๋ค์์ผ๋ก ๊ฐ๋ฒผ์ด ์์์ธ ํฌ๋ฅจ์ ์ด์ฉํด ์์คํ ์ ๊ธฐ๋ฐ์ฑ์ ํ์ธํ๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ผ๋ก, ๋์ ์ ํ๋์ ์์ ์ฑ์ ๋ณด์ฅํฉ๋๋ค.
ํ์ง๋ง ๋์ ํฌ์ ๋น์ฉ๊ณผ ๊ณ ๊ฐ์ ํฌ๋ฅจ ๊ฐ์ค๊ฐ ํ์ํ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ์ฃผ๋ก ํ์ดํ ํฌ ์ฐ์ ๋ถ์ผ์์ ์ฌ์ฉ๋์์ผ๋, ๊ณ ํ์ง๊ณผ ์์ , ํ๊ฒจ์ ๋ํ ์์ฅ์ ์๊ตฌ๊ฐ ๋์์ง๊ณ ์์ด ๋ค๋ฅธ ๋ถ์ผ๋ก๋ ๋น ๋ฅด๊ฒ ํ๋๋๊ณ ์์ต๋๋ค.
๋ํ ์๋์ฐจ ์ ์กฐ ๋ถ์ผ์ ๊ฒฝ์ฐ, ํฌ๋ฅจ์ ์ด์ฉํ ๋์ค ํ ์คํธ๋ฅผ ํ์ง ๊ฒ์ฌ ๊ท๊ฒฉ์ผ๋ก ์๊ตฌํ๋ฉฐ, ๋ค๋ฅธ ์ ์กฐ ์ฐ์ ๋ถ์ผ์์๋ ์ ์ฐจ ํฌ๋ฅจ ๋์ค ํ ์คํธ์ ์๊ตฌ๊ฐ ๋์ด๋๋ ์ถ์ธ์ ๋๋ค.
ํฌ๋ฅจ์ด ๋์ค ํ ์คํธ์ ์ฌ์ฉ๋๋ ์ด์ ๋ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ต๋๋ค.
1. ํฌ๋ฅจ์ ๋นํ์ฑ๊ณผ ๋น๋ฐ์์ฑ, ๋ถ์ฐ์ฑ์ ๊ฐ์ง ๊ธฐ์ฒด๋ก ๋ฐํ๋ ๊ณณ์ด ์๋๋ผ๋ฉด ๊ณต๊ธฐ ์ค์ ์ดํฌ๋๋ ์ธ์ฒด์ ํด๋กญ์ง ์์ต๋๋ค.
2. ํฌ๋ฅจ์ ๋๊ธฐ ์ค ์ฝ 5.2ppm ์ ๋๋ก ๋งค์ฐ ์๋์ด๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๋์ค์ด ์์ ๊ฒฝ์ฐ ๋ํ ํฐ๋ฅผ ์ด์ฉํด ๊ฐ์งํ๊ธฐ๊ฐ ์ฝ์ต๋๋ค.
3. ํฌ๋ฅจ์ ๋ถ์ ํฌ๊ธฐ๋ ๋งค์ฐ ์๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๋ค๋ฅธ ๊ธฐ์ฒด๋ค์ด ํต๊ณผํ์ง ๋ชปํ๋ ์์ ํ์ ํต๊ณผํ ์ ์์ด ์ต๋ E-09mbar.l/s์ ์ด๋ฏธ์ธํ ํฌ๊ธฐ์ ๋์ค๋ ํ์ง๊ฐ ๊ฐ๋ฅํฉ๋๋ค.
ํฌ๋ฅจ ๋์ค ํ ์คํธ ๋ฐฉ๋ฒ
ํฌ๋ฅจ ๋์ค ํ ์คํธ๋ฅผ ํ๊ธฐ ์ํด์๋ ํฌ๋ฅจ์ ํ์งํ ์ ์๋ ๋ํ ํฐ๊ฐ ํ์ํฉ๋๋ค.
ํฌ๋ฅจ ๋ํ ํฐ๋ ๊ธฐ์ฒด ์ค ํฌ๋ฅจ์ ์ธ์ํ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ์ฅ๋น์ ๋ฐ๋ผ ๋จ์ ํฌํจ ์ฌ๋ถ๋ง ์ ์ ์๋ ๊ฒ์์ ๋ถํฐ ํฌ๋ฅจ์ ๋๋๊น์ง ์ธก์ ํ ์ ์๋ ๊ฒ ๊น์ง ๋ค์ํ ์ข ๋ฅ๊ฐ ์์ต๋๋ค.
ํฌ๋ฅจ ๋์ค ํ ์คํธ๋ ํฌ๊ฒ ํฌ๋ฅจ์ ์์คํ ๋ด๋ถ์ ์ง์ ๋ฃ๋ ๋ฐฉ๋ฒ๊ณผ ์ธ๋ถ์์ ๋ํฌํ๋ ๋ฐฉ๋ฒ 2๊ฐ์ง๋ก ๋๋ ์ ์์ต๋๋ค.
์ฒซ ๋ฒ์งธ ๋ฐฉ๋ฒ์ ์ง๊ณต ์์คํ ๋ด๋ถ๋ฅผ ํฌ๋ฅจ์ผ๋ก ๊ฐ์์ํจ ํ, ์ธ๋ถ์์ ์๋ ฅ ์ฐจ๋ก ์ธํด ๋์ค๋๋ ํฌ๋ฅจ์ ๋ํ ํฐ๋ก ํ์งํ๋ ๊ฒ์ ๋๋ค.
์์คํ ๋ด๋ถ๋ฅผ ํฌ๋ฅจ์ผ๋ก ๊ฐ์ํ ํ ๋์ค๋๋ ํฌ๋ฅจ์ ํ์งํ๋ ๋ฐฉ๋ฒ
์ถ์ฒ : vacuumscienceworld.com
https://www.vacuumscienceworld.com/blog/finding-vacuum-leaks-using-helium
๋ ๋ฒ์งธ ๋ฐฉ๋ฒ์ ์์คํ ๋ด๋ถ๋ฅผ ์ง๊ณต์ผ๋ก ๋ง๋ ํ, ์ฐ๊ฒฐ ๋ถ์์ ๊ฐ์ด ๋์ค์ด ์์ฌ๋๋ ์ง์ ์ ํฌ๋ฅจ์ ๋ํฌํ๋ ๊ฒ์ ๋๋ค.
๋ง์ฝ ๋์ค์ด ์๋ค๋ฉด ๋ด๋ถ์์ ์๋ ฅ ์ฐจ๋ก ์ธํด ํฌ๋ฅจ์ด ์์คํ ๋ด๋ถ๋ก ํ๋ฌ๋ค์ด๊ฐ ๊ฒ์ด๊ณ , ์์คํ ๊ณผ ์ฐ๊ฒฐ๋ ๋ํ ํฐ์์ ํฌ๋ฅจ์ ํ์งํฉ๋๋ค.
์์คํ ๋ด๋ถ๋ฅผ ์ง๊ณต์ผ๋ก ๋ง๋ ํ, ํฌ๋ฅจ์ ๋ํฌํด ๋์ค๋๋ ํฌ๋ฅจ์ ํ์งํ๋ ๋ฐฉ๋ฒ
์ถ์ฒ : vacuumscienceworld.com
https://www.vacuumscienceworld.com/blog/finding-vacuum-leaks-using-helium
์์ ๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ด ์ ๊ณตํ๋ ์ด์ ์ ์ ์ฌํ์ง๋ง, ์ฒซ ๋ฒ์งธ ๋ฐฉ๋ฒ์ ๋ ๋ฒ์งธ ๋ฐฉ๋ฒ์ ๋นํด ํ ์คํธ ํ๊ฒฝ์ด ๊ฐ๋จํ๋ฉฐ, ๋ ๋ฒ์งธ ๋ฐฉ๋ฒ์ ๊ฒฝ์ฐ ๊ฒ์ฌ ์์คํ ์ด ์๋ํ ๋์ด ์๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ์ธ์ ์ค๋ฅ์ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ด ์ค์ด๋ ๋ค๋ ์ฅ์ ์ด ์์ต๋๋ค.
์ธํฌ๋ผ๋๋ ๊ธฐ์ฒด ์ ๋์ ์ธก์ ํ๋ Mass Flow Meter / Controller์ ์ง๊ณต๋๋ฅผ ์ธก์ ํ๋๋ฐ ์ฌ์ฉ๋๋ Vacuum Sensor๋ฅผ ๋น๋กฏํ ์ฌ๋ฌ ์ธก์ ์ฅ๋น๋ค์ ๊ณต๊ธํ๊ณ ์์ผ๋ฉฐ, ๊ณ ๊ฐ์ ์์ฒญ์ ๋ฐ๋ผ OEM ๋ฐฉ์์ผ๋ก ๋ค์ํ ์ข ๋ฅ์ ์ ํ์ ์ ์ํด ์ ๊ณตํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
๋ฌธ์์ฌํญ์ ์๋ ๋งํฌ๋ฅผ ์ด์ฉํ์๊ธฐ ๋ฐ๋๋๋ค.
์ถ์ฒ