FMS

Flow Management System

펌프 스피드 테스트를  측정하도록 설계된 열식 질량 유량 측정 시스템.

  • 개방형 전체 높이 1,690mm 프로파일에 내장

  • FMS 2000 의 전면에는 디스플레이 및 범위 선택 스위치

  • sccm or slm 으로 직접 출력되는 유량

  • 개별로 설정 가능한 'zero point 조정' 제공

  • 15핀 'D'커넥터를 사용해 0~5 VDC 아날로그 출력에 편리하게 연결

  • 20 sccm ~ 150 slpm 5개 유량계 모두 탈부착이 가능

  • 연결배관 입구와 출구 모두 매니폴드

  • VCR 피팅을 사용, 누설없이 유량계에 연결하고 제거 / 교체가 용이

  • ​단일 필터가 연결되어 내부 보호

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