HVG-2020B

이 작은 제품에 Piezo 센서와 Pirani 센서가 동시에

컴팩트하고 사용하기 편한 HVG-2020B 제품은

 

듀얼 센서 방식으로 Piezo 방식과 Pirani 방식의

 

2가지 센서를 함께 사용하기 때문에

1000 Torr(133,322.3 Pa)에서 0.1 mTorr(0.1333 Pa) 미만의

매우 넓은 범위에서 안정적이고 정확한 측정을 제공합니다.

HVG-2020B는 매우 간편하게 설치 할수 있습니다.

전면 Touch Display는 다양한 Views와 작동 옵션을 제공 합니다. 

가스 접촉부는 스테인레스 스틸 제질로 되어 있으며 다양한

현장상황에 적합한 Analog / Digital output를 제공하고 있으며,

Linear한 analog output을 제공하고 있기에, 고가의 Capacitance

 

Manometers보다 경제적입니다.  

HVG-2020B는 고급 압력 저항센서를 기반으로 

진동막에 가스에 의해 좌우되는 힘을 감지해

압력과 압전 재료 변화의 저항값을 측정하기 때문에

가스 성분이 바뀌어도 보정 작업 없이 측정이 가능합니다.

Applications and Industries

  • Semiconductor Etch

  • Sputtering Chamber

  • Load Lock Systems

  • Process Control and Test

  • Plasma Coating

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