HFC-203 교정 방법
안녕하세요. 이번시간엔 HFC-203(Analog) 제품의 교정 방법에 대해 알아 보도록 하겠습니다.
제품 교정을 시작하기 앞서 가장 먼저 몇가지 조건을 충족해야 합니다.
1. 흐름 회로 기계 연결부에 리크가 없는지 확인 합니다.
2. Control Box의 전원 연결 및 HFC-203과의 케이블 연결이 올바른지 확인 합니다.
3. 전원을 키고, 모든 Flow & Set 명령을 0(흐름 없음)으로 차단 합니다.(Valve Close)
4. 1시간의 예열시간(워밍업)을 진행 합니다.
5. 워밍업이 끝났으면, ~20%의 유량을 5분동안 MFC를 통해 흘려줍니다.(Valve Auto)
6. 흐름을 차단하고, 약 2분 정도 기다린 후 장비를 0으로 설정해줍니다.
여기까지가 교정을 하기 전 MFC의 조건입니다.
모든 조건을 끝냈으면, 다음은 바로 교정을 진행해 보도록 하겠습니다.
1. 장비에 유량이 흐르지 않는 상태에서 영점을 맞춰 줍니다.(제품 측면 아래 나사(ZERO)를 돌려 줍니다.)
2. 영점을 맞추고 Full Scale의 10%, 20%, 50%, 100%의 유량을 흘려주면서, 값이 맞는지 확인 합니다.
3. 값이 맞지 않을 경우 SPAN을 돌려 유량대에 맞게 값을 조정 합니다.
4. SPAN 값의 조정이 끝났으면, 유량을 차단하고, 다시한번 ZERO로 맞춰주면 됩니다.
지금까지 HFC-203 제품 교정에 대해 알아 보았습니다.
관련 포스트 :
질량 유량 측정 / 제어기(MFM / MFC)를 올바르게 사용하는 방법
Mass Flow Meter / Controller 유량 및 측정 기체 변경 서비스