확산도 측정 시스템(Spread Measurement System) 제작 3

인포라드는 기체 유량을 측정하는 Mass Flow Meter / Controller와 진공도를 측정하는데 사용되는 Vacuum Sensor 를 비롯한 여러 측정 장비들을 공급하고 있으며, 고객의 요청에 따라 OEM 또는 KIT 제작 방식으로 다양한 종류의 제품을 제작해 제공하고 있습니다.

제작을 의뢰받는 제품들은 대부분 기성 제품 중에서는 원하는 요구사항에 맞는 제품을 찾기 힘든 경우이기 때문에, 고객의 요청에 따라 새로운 아이디어와 함께 기존에 존재하는 다양한 제품들을 참고하고 조합해 새로운 제품을 만들어내는 과정이 필요합니다.

이번 시간에는 의뢰를 통해 제작된 확산도 측정 시스템을 소개하겠습니다.

확산도 측정 시스템 소개

인포라드에서 제작한 확산도 측정 시스템

확산도 측정 시스템은 모 대학교 실험실에서 진공 압력 실험용으로 의뢰한 시스템으로, 챔버 내에 실험체를 넣고 진공으로 만든 후 일정 압력으로 기체를 주입하는 실험을 진행하는데 사용될 예정입니다.

1. 구성

이번에 제작된 확산도 측정 시스템은 실험실이라는 한정된 공간에서 원하는 실험을 위해 다양한 장비를 사용하면서도 공간을 많이 차지하지 않도록 500(H) x 380(W) x 385(L) (mm)로 수직 형태의 컴팩트한 사이즈로 제작되었습니다.

압력을 조절할 수 있는 레귤레이터와 기체의 유량을 측정하는 로터메터, 진공도를 측정하는 진공 센서와 센서에 전력을 공급하고 측정한 진공도를 표시하는 Readout, 그리고 챔버로 구성되어 있으며, Gas Inlet과 Outlet, 그리고 전원만 연결하면 단독으로 사용이 가능하도록 구성되어 있습니다.

2. 사양

확산도 측정 시스템은 하단에서 진공을 유지하는 것이 중요하기 때문에 각종 부품과 장비를 선택할 때 특별히 누설(Leak)에 더 신경써서 제작되었으며, 높은 정확도의 진공 센서와 소수점 아래 3자리까지 표시 가능한 THCD-101 Readout을 조합해 더 정확한 진공 값을 측정할 수 있습니다.

또한 시스템에 들어가는 각종 부품과 장비들을 높은 신뢰성을 기준으로 선택해 반복실험에 용이하도록 제작되었습니다.

이번에 제작된 확산도 측정 시스템의 Leak Rate는

0.00000253 Torr Liter/sec, 0.0091 Torr Liter/hour, 0.0001999 sccm 입니다.

시스템의 전체적인 사양은 아래와 같습니다.