가스 희석 장치(Gas Dilution System) 제작 2

인포라드는 기체 유량을 측정하는 Mass Flow Meter / Controller와 진공도를 측정하는데 사용되는 Vacuum Sensor 를 비롯한 여러 측정 장비들을 공급하고 있으며, 고객의 요청에 따라 OEM 방식으로 다양한 종류의 제품을 제작해 제공하고 있습니다.

이번 시간에는 모 연구소의 요청으로 제작된 가스 희석 장치(Gas Dilution System)를 소개하겠습니다.

가스 희석 장치(Gas Diution System)

가스 희석 장치는 기체를 혼합할 때 사용할 수 있는 장비로, 메인 기체에 원하는 가스를 원하는 비율로 혼합할 수 있습니다.

박스 형태로 내부에 필요한 장비들을 모두 내장해 외부로 연결된 커넥터에 가스만 연결하면 전면부의 Readout을 이용해 유량을 제어하고 수치를 확인할 수 있는 형태로 제작되었습니다.

가스 희석 장치에 들어간 제품은 다음과 같습니다.

- Mass Flow Controller 7기

- 7 채널 Readout 1기

위에 적힌 제품들 외에도 케이스와 파워, 케이블, 커넥터, 피팅, 라인(호스)등이 가스 희석 장치를 제작하는데 추가됩니다.

모 연구실의 요청으로 제작된 가스 희석 장치(Gas Dilution System)의 외부

가스 희석 장치에는 총 5개의 연결부가 있습니다.

질소(Nitrogen - N2), 암모니아(Ammonia - NH3), 염화 수소(Hydrogen Chloride - HCl), 불화 수소(Hydrogen Fluoride - HF) 등 4개의 기체가 들어가는 입구가 있으며, 혼합된 기체가 나오는 출구가 1개 있습니다.

기체별 입구에는 5sccm과 25sccm의 용량의 Mass Flow Controller가 각각 2개씩 연결되어 있습니다.

MFC가 2개씩 사용되는 이유는 사용할 유량과 일치하는 용량의 MFC를 사용했을 때, 가장 높은 정확도가 보장되기 때문입니다.

Mass 가스 희석 장치 내부에는 Mass Flow Controller와 함께 통신을 위한 USB Hub가 부착되어 있으며, 각각의 Mass Flow Controller와 연결된 USB 단자들은 USB Hub를 거쳐 제품 뒷쪽의 USB Connecter로 연결되고 컴퓨터와 같은 외부 장비와 연결되어 유량 정보를 제공할 수 있습니다.

USB 뿐만 아니라 RS-232 통신을 위한 9 Pin 단자도 함께 설치되어 있어 연결이 가능합니다.