화합물 사전 - 프레온14(Freon14 - Carbon tetrafluoride)

Teledyne hastings 사의 Mass Flow Meter / Controller 를 이용해 가스 유량을 측정할 수 있는 가스 화합물의 종류에 대해 알아보는 시간입니다.

이번 시간에는 원소기호 CF4인 프레온14에 대해 알아보도록 하겠습니다.

화합물 설명

테트라플루오린화탄소(Carbon tetrafluoride), 또는 테트라플로오로메테인(Tetrafluoromethane)이라고도 불리는 프레온14는 상온에서 기체 상태를 유지하며, 1개의 탄소 원자, 4개 불소 원자로 구성되어 있는 무색, 무취의 화합물입니다.

프레온14는 저온 냉매로 주로 이용되며, 반도체 산업에서 실리콘 웨이퍼의 플라즈마 에칭 및 정밀 부품의 세척 등에도 사용됩니다.

하지만 프레온 14는 대기 수명이 50,000년에 달하는 매우 강력한 온실 가스로 지구 온난화를 가속시키는 물질입니다.

프레온14는 탄소 화합물이 플루오린 기체와 함께 연소될 때 생성될 수 있으며, 플루오린화 수소(Hydrogen fluoride)를 사용해 상업적으로 제조됩니다.

프레온14에 인체가 노출되면 두통과 현기증, 정신 착란 증상 등이 발생할 수 있으며, 많은 양을 흡입할 경우 산소 결핍으로 질식할 수 있습니다.

영어 이름 : Freon14

한글 이름 : 프레온14, 사불화탄소

다른 이름 : 테트라플루오로메테인(Tetrafluoromethane)

원소 기호 : CF4

몰질량 : 88.0043 g/mol

밀도 : 3.72 g/L (15 ℃, 760 Torr 기준)

녹는점 : -183.6 ℃

끓는점 : -127.8 ℃

가스 화합물의 종류에 따라 Mass Flow Meter / Controller 의 가스 접촉부 재료가 달라져야 하기 때문에 유량 측정을 위한 MFC 를 선택하기 전, 항상 가스 혼합물에 대한 Wetted Material 을 참고해야 합니다.

매우 만족(Excellent)

316 Stainless, Brass, Monel, Buna-N, Viton, Neoprene

좋음(Good, Most Conditions)

없음

좋지않음(Fair, Limited Life, Restricted Conditions)

없음

만족스럽지 않음(Unsatisfactory)

Aluminum

사용 불가(Unserviceability)

Steele, Constantan, Sn/Pb, Indium, ChemRaz(505), Nickel, Nylon, Delrin, Kalrez, TFE, Zytel(Nyl6.6), Polyethylene,

Teledyne Hastings 사의 Mass Flow Meter / Controller 는 다양한 종류의 가스 유량 측정이 가능하며, 각각의 가스에 맞는 Wetted Material 을 사용하여 높은 정확도의 유량 측정이 가능합니다.

가스 혼합물 및 사용 가능한 Wetted Material, 그리고 Mass Flow Meter / Controller 에 대한 문의는 아래의 링크를 참고하시기 바랍니다.

참고