화합물 사전 - 디클로로실란(Dichlorosilane)
Teledyne hastings 사의 Mass Flow Meter / Controller 를 이용해 가스 유량을 측정할 수 있는
가스 화합물의 종류에 대해 알아보는 시간입니다.
이번 시간에는 원소기호 Cl2H2Si 인 디클로로실란에 대해 알아보도록 하겠습니다.
화합물 설명
디클로로실란은 끓는 점이 8.3℃ 로 8.3℃ 이상에서
강하고 역한 냄새를 가진 무색의 가스 형태를 유지하는 화합물로,
매우 높은 인화성을 가지고 있습니다.
독일의 화학자인 Stock 와 Somieski 는 1919년에 모노실란(Monosilane - SiH4)과
염화수소(Hydrogen chloride - HCl)의 반응을 이용해 디클로로실란을 제조했습니다.
디클로로실란은 반도체 산업이 성정하기 전까지는 사용량이 많지 않았지만
현대에는 반도체 공정에 주로 사용되고 있습니다.
디클로로실란은 화학적 활성 기체로 공기 중에서 쉽게 가수분해(Hydrolysis)되고
스스로 점화될 수 있습니다.
디클로로실란은 또한 신체에 대해 매우 독성이 강하기 때문에 화학물질의 사용과 관련된 실험에는
반드시 예방 조치가 실시되어야 합니다.
디클로로실란을 흡입하거나 피부를 통해 신체에 흡수되면 매우 치명적일 수 있으며,
가스 또는 액화 가스와 접촉하면 화상, 심각한 부상 또는 동상을 유발할 수 있습니다.
화재가 나면 유독성 가스가 발생하기 때문에 주의가 요구됩니다.
여기서 가수분해란 자연계의 화학 반응 중에 물분자가 작용해 일어나는 분해 반응을 말합니다.
금속염이 물과 반응해 산성 또는 알칼리성 물질이 되는 반응이나,
사람의 소화기 내에서 음식이 소화되는 과정 등이 대표적인 가수분해의 예 입니다.
영어 이름 : Dichlorosilane
한글 이름 : 디클로로실란
원소 기호 : Cl2H2Si
몰질량 : 101.007 g/mol
밀도 : 4.1679 g/L (21.1℃, 760 Torr 기준)
녹는점 : -122 ℃
끓는점 : 8.3 ℃
Wetted Material
가스 화합물의 종류에 따라 Mass Flow Meter / Controller 의 가스 접촉부 재료가 달라져야 하기 때문에
유량 측정을 위한 MFC 를 선택하기 전, 항상 가스 혼합물에 대한 Wetted Material 을 참고해야 합니다.
매우 만족(Excellent)
316 Stainless, Monel, Viton, Kalrez
좋음(Good, Most Conditions)
Buna-N
좋지않음(Fair, Limited Life, Restricted Conditions)
없음
만족스럽지 않음(Unsatisfactory)
없음
사용 불가(Unserviceability)
Steele, Aluminum, Brass, Constantan, Sn/Pb, Indium, Nickel, ChemRaz(505), Nickel,
Nylon, Delrin, TFE, Zytel(Nyl6.6), Polyethylene, Neoprene
Teledyne Hastings 사의
Mass Flow Meter / Controller 는
다양한 종류의 가스 유량 측정이 가능하며,
각각의 가스에 맞는 Wetted Material 을 사용하여
높은 정확도의 유량 측정이 가능합니다.
가스 혼합물 및 사용 가능한 Wetted Material,
그리고 Mass Flow Meter / Controller 에 대한 문의는 아래의 링크를 참고하시기 바랍니다.
참고
위키피디아 : https://en.wikipedia.org/wiki/Dichlorosilane
https://pubchem.ncbi.nlm.nih.gov/compound/dichlorosilane
http://www.chemspider.com/Chemical-Structure.55266.html
https://www.chemicalbook.com/ChemicalProductProperty_EN_CB8765532.htm
https://en.wikipedia.org/wiki/Hydrolysis
지식백과 : https://terms.naver.com/entry.nhn?docId=4638745&cid=60228&categoryId=60228
https://terms.naver.com/entry.nhn?docId=1054824&cid=40942&categoryId=32251