ํํฉ๋ฌผ ์ฌ์ - ๋ค์ด๋ธ๋ก๋ชจ๋ค์ดํ๋ฃจ์ค๋ก๋ฉํ ์ธ(Dibromodifluoromethane)
Teledyne hastings ์ฌ์ Mass Flow Meter / Controller ๋ฅผ ์ด์ฉํด ๊ฐ์ค ์ ๋์ ์ธก์ ํ ์ ์๋
๊ฐ์ค ํํฉ๋ฌผ์ ์ข ๋ฅ์ ๋ํด ์์๋ณด๋ ์๊ฐ์ ๋๋ค.
์ด๋ฒ ์๊ฐ์๋ ์์๊ธฐํธ CBr2F2 ์ธ ๋ค์ด๋ธ๋ก๋ชจ๋ค์ดํ๋ฃจ์ค๋ก๋ฉํ ์ธ์ ๋ํด ์์๋ณด๋๋ก ํ๊ฒ ์ต๋๋ค.
ํํฉ๋ฌผ ์ค๋ช
๋ค์ด๋ธ๋ก๋ชจ๋ค์ดํ๋ฃจ์ค๋ก๋ฉํ ์ธ์ ๋๋ ์ ์ด 22.8โ ๋ก 22.8โ ์ด์์์
๋ฌด์์ ๊ฐ์ค ํํ๋ฅผ ์ ์งํ๋ ํํฉ๋ฌผ๋ก, ์ก์ฒด์ผ ๋๋ ์ธํ์ฑ์ ๊ฐ์ง๊ณ ์์ต๋๋ค.
๋ค์ด๋ธ๋ก๋ชจ๋ค์ดํ๋ฃจ์ค๋ก๋ฉํ ์ธ์ ํ ๋ก (Halon)์ํ๊ธฐ์ ํจ๊ป ๊ฐ์ฅ ํจ๊ณผ์ ์ธ ์ํ๊ธฐ์ง๋ง
๊ฐ์ฅ ๋ ์ฑ์ด ๊ฐํ ์ํ๊ธฐ์ ๋๋ค.
๋ํ ์์ด์ปจ, ๋์ฅ๊ณ ์ ๋๋งค๋ก ์ฌ์ฉ๋์์ง๋ง ์ค์กด์ธต ํ๊ดด ๋ฌผ์ง๋ก ํ์ฌ๋ ์ฌ์ฉ๋์ง ์์ต๋๋ค.
๋ค์ด๋ธ๋ก๋ชจ๋ค์ดํ๋ฃจ์ค๋ก๋ฉํ ์ธ์ ์ก์ฒด ์ํ์์ ํ ์์ ์นจํฌํด ์งํ์์ ์ธ๊ทผ ์์ง์
์ค์ผ์ํฌ ์ ์๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ํ์ฐ๋๋ ๊ฒ์ ๋ง๊ธฐ ์ํด ์ฆ๊ฐ์ ์ธ ์กฐ์น๊ฐ ์ทจํด์ ธ์ผ ํฉ๋๋ค.
๋ค์ด๋ธ๋ก๋ชจ๋ค์ดํ๋ฃจ์ค๋ก๋ฉํ ์ธ์ ํก์ ํ ๊ฒฝ์ฐ ๋งค์ฐ ์ ํดํ ์ ์์ต๋๋ค.
ํผ๋ถ์ ์ง์ ์ ์ด์ ํผ๋ถ์ ๋์ ํ์์ ์ ์ ์ ์์ผ๋ฉฐ ํธํก๊ธฐ๋ก ํก์ ํ ๊ฒฝ์ฐ ํ์ ์์์ ์ค ์ ์์ต๋๋ค.
ํ์ฌ๋ก ์ธํ ๊ณ ์จ์ ๋ ธ์ถ๋๋ฉด ์๊ทน์ฑ ๋ฐ ๋ถ์์ฑ ์ ๋ ๊ฐ์ค๊ฐ ๋ฐ์ํ ์ ์์ต๋๋ค.
์์ด ์ด๋ฆ : Dibromodifluoromethane
ํ๊ธ ์ด๋ฆ : ๋ค์ด๋ธ๋ก๋ชจ๋ค์ดํ๋ฃจ์ค๋ก๋ฉํ ์ธ
์์ ๊ธฐํธ : CBr2F2
๋ชฐ์ง๋ : 209.82 g/mol
๋ฐ๋ : 2.297 g/mL (25โ, 760 Torr ๊ธฐ์ค)
๋ น๋์ : -101.1 โ
๋๋์ : 22.8 โ
Wetted Material
๊ฐ์ค ํํฉ๋ฌผ์ ์ข ๋ฅ์ ๋ฐ๋ผ Mass Flow Meter / Controller ์ ๊ฐ์ค ์ ์ด๋ถ ์ฌ๋ฃ๊ฐ ๋ฌ๋ผ์ ธ์ผ ํ๊ธฐ ๋๋ฌธ์
์ ๋ ์ธก์ ์ ์ํ MFC ๋ฅผ ์ ํํ๊ธฐ ์ , ํญ์ ๊ฐ์ค ํผํฉ๋ฌผ์ ๋ํ Wetted Material ์ ์ฐธ๊ณ ํด์ผ ํฉ๋๋ค.
๋งค์ฐ ๋ง์กฑ(Excellent)
์์
์ข์(Good, Most Conditions)
์์
์ข์ง์์(Fair, Limited Life, Restricted Conditions)
์์
๋ง์กฑ์ค๋ฝ์ง ์์(Unsatisfactory)
์์
์ฌ์ฉ ๋ถ๊ฐ(Unserviceability)
316 Stainless, Steele, Aluminum, Brass, Constantan, Monel, Sn/Pb, Indium, ChemRaz(505),
Nickel, Nylon, Buna-N, Viton, Delrin, Kalrez, TFE, Zytel(Nyl6.6), Polyethylene, Neoprene
Teledyne Hastings ์ฌ์
Mass Flow Meter / Controller ๋
๋ค์ํ ์ข ๋ฅ์ ๊ฐ์ค ์ ๋ ์ธก์ ์ด ๊ฐ๋ฅํ๋ฉฐ,
๊ฐ๊ฐ์ ๊ฐ์ค์ ๋ง๋ Wetted Material ์ ์ฌ์ฉํ์ฌ
๋์ ์ ํ๋์ ์ ๋ ์ธก์ ์ด ๊ฐ๋ฅํฉ๋๋ค.
๊ฐ์ค ํผํฉ๋ฌผ ๋ฐ ์ฌ์ฉ ๊ฐ๋ฅํ Wetted Material,
๊ทธ๋ฆฌ๊ณ Mass Flow Meter / Controller ์ ๋ํ ๋ฌธ์๋ ์๋์ ๋งํฌ๋ฅผ ์ฐธ๊ณ ํ์๊ธฐ ๋ฐ๋๋๋ค.
์ฐธ๊ณ
์ํคํผ๋์ : https://en.wikipedia.org/wiki/Dibromodifluoromethane
https://pubchem.ncbi.nlm.nih.gov/compound/dibromodifluoromethane
http://www.chemspider.com/Chemical-Structure.6142.html
https://www.chemicalbook.com/ChemicalProductProperty_EN_CB8400880.htm
์ง์๋ฐฑ๊ณผ : https://terms.naver.com/entry.nhn?docId=4352387&cid=60228&categoryId=60228
#mfc #massflow #wettedmaterial #์ง๋์ ๋์ธก์ ๊ธฐ #๋ค์ด๋ธ๋ก๋ชจ๋ค์ดํ๋ฃจ์ค๋ก๋ฉํ ์ธ #dibromodifluoromethane #cbr2f2 #๋ค์ด๋ธ๋ก๋ชจ๋ค์ดํ๋ฃจ์ค๋ก๋ฉํ ์ธmfc #๋ค์ด๋ธ๋ก๋ชจ๋ค์ดํ๋ฃจ์ค๋ก๋ฉํ ์ธmassflowmeter #๋ค์ด๋ธ๋ก๋ชจ๋ค์ดํ๋ฃจ์ค๋ก๋ฉํ ์ธmassflowcontroller #dibromodifluoromethanemfc #dibromodifluoromethanemassflowmeter #dibromodifluoromethanemassflowcontroller #cbr2f2mfc #cbr2f2massflowmeter #cbr2f2massflowcontroller