MFM/MFC (Mass Flow Meter/Controller) 의 유량 단위

Mass Flow Meter/Controller 에서는 어떤 유량을 쓸까요? 

 

 

질량 유량계에서는 여러가지의 유량 단위를 사용하지만 주로 사용 하는 단위는 아래와 같습니다.

 

ccm (cc/m - cc per minute : 1분에 몇 cc 가 흐르는가?)

 

lm (l/m - liter per minute : 1분에 몇 liter 가 흐르는가?)

 

cc 와 liter는 변환이 가능하며, 1liter = 1,000 cc 입니다.

 

따라서 2,000 cc/s 는 2 l/s 로 환산할 수 있습니다.

 

 

 

liter per minute 에서 또 나눠지는건 함정 

 

 

liter per minute 을 줄여 lm 또는 lpm 이라고 읽습니다.

 

그런데 lm 말고도 slm 도 있다는 사실을 아십니까?

 

slm (sl/m - Standard liter per minute : 1분에 몇 표준 liter 가 흐르는가?)

 

 

 

사용자가 불편하게 왜 또 단위를 나눠 놓았을까?  

 

 

이렇게 같은 liter per minute 에 Standard 가 붙은 단위가 나타난 이유는

 

유량 측정의 대상이 기체이기 때문입니다.

 

유량 측정에 있어 1 liter = 1,000 cc 의 절대값은 달라지지 않지만, 측정 대상인 기체는 

 

온도가 높을 때, 또는 압력이 낮을 때 팽창하게 됩니다.

 

한마디로, 압력이나 온도에 따라 기체의 부피가 달라지지는 것입니다.

 

기체의 부피가 달라지면 같은 양의 기체를 흘려도 실제 유량이 달라지게 됩니다. 

 

예를 들어 같은 크기의 문을 동일한 수의 몸집이 작은 사람들과 큰 사람들이 지나갈 때 

 

시간차가 날 수 밖에 없는 것과 같습니다.

 

 

 

lm 과 slm 의 차이는 무엇일까요?  

 

 

lm 이란 위에서 언급한 단순한 liter per minute (1분당 몇 liter 가 흐르는가?) 이며,

 

압력과 온도에 대한 언급이 없기 때문에 정확한 기준을 알 수가 없어 단순 lm 을 사용하진 않습니다.

 

lm 을 사용하는 경우 대부분 lm = slm 이라는 전제하에 사용하게 되며,

 

MFM/MFC 제조 업체에서도 대부분 slm 을 사용합니다.

 

 

slm 은 lm 의 앞에 Standard 를 붙인 것으로 말그대로 lm 에서 알 수 없는 

 

압력과 온도를 정해놓아 사용자들의 혼란을 방지하기 위한 것입니다.

 

여기서 중요한 Standard 는 STP(Standard Temperature & Pressure)를 뜻합니다.

 

그리고 STP 는 0'C / 1 ATM(760 Torr) 입니다.

 

따라서 MFM/MFC 를 사용할 때, 유량이 10 slm 이라고 하면

 

0'C / 1 기압인 상태에서 1분에 10 liter 가 흐른다는 뜻입니다.

 

 

ccm 과 sccm 도 lm 과 slm 와 동일합니다.

 

Standard 가 앞에 붙어 있기 때문에 STP 가 적용되어 0'C / 760 Torr 가 기준입니다.

 

 

 

내가 사용하고 있는 환경은 STP 와 다른데 어떻게 해야 할까?  

 

 

위에 언급한 것과 같이 STP 는 사용자들의 혼란을 막기 위한 국제 표준이며,

 

MFM/MFC 제조사에서도 대부분 STP 에 맞춰서 교정을 해 출고됩니다.

 

하지만 실제 사용자의 사용환경은 제각각일 수 밖에 없는데,

 

특히 연구실 및 제조공정을 0'C 에 맞춰놓는 곳은 흔치 않을 것입니다.

 

따라서 이렇게 환경이 STP 와 다른 경우 제품 구입전 제조사에 문의하는 것이 바람직합니다.

 

 

 

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