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IGE 3000
중진공, 고진공 측정이 가능한 이온 게이지
IGE 3000은 이온화 튜브를 이용한 전자 게이지로
0.01 Torr ~ 10^(-10) Torr(1.333224 ~ 1.3332e-8 Pa)의
초고진공 측정이 가능합니다.
터보 펌프, 이온 펌프, 크라이오 펌프 와 같은
초고진공 환경에서 작업할 경우 진공 프로세스 유지에
필요한 측정값을 제공해 드립니다.
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