top of page

HPM 2002 OBE

2종류의 센서를 이용한 넓은 영역 측정

HPM 2002 OBE는 넓은 범위를 정확하게 측정하여

 

사용자에게 제공하는 시스템이 탑제된 진공 게이지 입니다.

​

​

센서로는 HPM 2002S 센서를 사용하며

​

게이지 자체에 내장되어 있는 액정을 통해

​

별도의 장비 없이 측정값의 디스플레이가 가능합니다.

​

​

1000 Torr ~ 0.0001 Torr(133,322.3 ~ 0.013332 Pa)

 

까지 측정이 가능하며 0 ~ 10 V 아날로그값 과 함께

 

RS 232, RS 485 방식으로 디지털 값도 출력이 가능합니다.

Applications and Industries

​

  • Semiconductor Etch

  • Sputtering Chamber

  • Load Lock Systems

  • Process Control and Test

  • Plasma Coating

bottom of page