HPM 2002 OBE

2종류의 센서를 이용한 넓은 영역 측정

HPM 2002 OBE는 넓은 범위를 정확하게 측정하여

 

사용자에게 제공하는 시스템이 탑제된 진공 게이지 입니다.

센서로는 HPM 2002S 센서를 사용하며

게이지 자체에 내장되어 있는 액정을 통해

별도의 장비 없이 측정값의 디스플레이가 가능합니다.

1000 Torr ~ 0.0001 Torr(133,322.3 ~ 0.013332 Pa)

 

까지 측정이 가능하며 0 ~ 10 V 아날로그값 과 함께

 

RS 232, RS 485 방식으로 디지털 값도 출력이 가능합니다.

Applications and Industries

  • Semiconductor Etch

  • Sputtering Chamber

  • Load Lock Systems

  • Process Control and Test

  • Plasma Coating

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