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질량 유량계(MFM) 및 질량 유량 컨트롤러(MFC)에 대한 사용 가이드
질량 유량 컨트롤러 (MFC)는 다양하고 견고하며 정확한 측정 및 제어가
가능한 장비로, 다양한 환경의 다양한 가스 유량 환경에서 사용할 수 있습니다.
정확성과 안정성 및 신뢰성 측면에서
MFC를 최대한 활용할 수 있는 방법을 알려드립니다.
Hastings 300 시리즈를 소개합니다
Linearity
일반적인 Flow Sensor 와는 달리 Up Stream 과 Down Stream,
두 군데에 코일이 감겨, 낮은 온도에서도 센서의 델타 'T' 값이
유량에 따라 실시간으로 Linear 하게 변화합니다.
특허 받은 센서 -> 정확하고 빠른 반응 속도
특허 받은 MFC 300 시리즈의 센서는 결과값이 Linearity 하기 때문에
매우 정확하며, 빠른 반응 속도를 낼 수 있습니다.
낮은 압력 강하 (Low Pressure Drop)
또한 센서 튜브가 다른 시리즈에 비교해 상대적으로 매우 큰 구경으로
디자인 되어 있어, 현존하는 질량 유량계들보다 낮은 '압력 강하'
(기체의 압력이 유량계를 지나면서 기존 압력보다 떨어지는 현상)을 구현할 수 있습니다.
Teledyne Hastings 열식 질량 유량 센서는 전세계적으로 사용되고 있습니다.
관련 Application을 참고하시기 바랍니다.
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