산소 50%, 질소 30%, 수소 20% 를 이용해 총 유량 100 slm의 혼합 기체를

 

만든다고 가정하고 PowerPod 400 을 이용해 마스터 / 슬레이브 방식으로

 

혼합하는 방법을 예를 들어 설명하도록 하겠습니다.

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1. 제품 구성

 

우선 마스터 Mass Flow 제품과 슬레이브 Mass Flow Controller가 필요합니다.

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마스터 Mass Flow 는 Meter / Controller 상관없이 사용이 가능하지만,

 

슬레이브 Mass Flow는 무조건 Controller를 사용해야 합니다.

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따라서 마스터를 MFM 으로 설치한다면 MFM - 1개, MFC - 3개가 필요하며,

 

마스터 및 슬레이브를 모두 MFC로 사용한다면 MFC -4개가 필요합니다.

 

PowerPod 400 한대는 기본 구성입니다.

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2. 제품 유량 선택

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총 유량 100 slm 의 혼합 가스를 만들기 위해서 마스터 Mass Flow 제품의

 

총 유량은 최소 100 slm 이상이어야 합니다.

 

또한 기본 50%, 30%, 20% 설정으로 진행 하지만 추후 비율이 달라질 수 있기 때문에

 

슬레이브 MFC 또한 최소 100 slm 으로 구성해야 합니다.

 

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3. 마스터 / 슬레이브 제품 설정

 

제품이 준비가 되었으면 마스터 Mass Flow 제품과 슬레이브 MFC 들을

 

PowerPod 에 연결합니다.

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설정값을 입력하기 전에 각각의 제품을 PowerPod 에 등록해야 합니다.

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마스터 Mass Flow 제품은 무조건 채널 1로 설정해주어야 하며

 

위의 설명처럼 Mass Flow Meter 와 Controller 두가지 모두 사용이 가능합니다.

 

 

메인 화면에서 시작하려면 ‘MODE 키’를 누른 다음 ‘3 키’를 누르고,

 

‘ENTER 키’를 눌러 SETUP / CAL 을 선택합니다.

 

채널 1을 마스터로 설정하려면 ‘1 키’, ‘ENTER 키’, ‘6 키’를 눌러 RATIO 로 들어가고,

 

‘ENTER 키’, ‘2 키’를 눌러 ENABLE MASTER 로 들어가서 ‘ENTER 키’를 누릅니다.

 

남아있는 채널들 중 어느 것이 슬레이브 MFC 가 될지 지정하기 위해서는

 

슬레이브 상태 설정을 해야 합니다.

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채널 2 를 슬레이브로 사용하려면 ‘2 키’와 ‘ENTER 키’를 누르거나

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‘1 키’와 ‘ENTER 키’를 누릅니다.

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그러면 화면에 SLAVE B 가 채널 3과 연결되고 SLAVE C가 채널 4와

 

연결되도록 메시지가 나옵니다.

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이 화면을 종료하기 위해서 ‘3 키’와 ‘ENTER 키’를 누르면 PowerPod는

 

현재 마스터 / 슬레이브 설정 정보가 업데이트 된 메인 화면으로 돌아가게 됩니다.

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이 설정 과정 중, 언제든지 ‘ESC 키’를 누르면 업데이트를 취소하고

 

PowerPod의 메인 화면으로 돌아갈 수 있습니다.

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PowerPod에 ​마스터 / 슬레이브 제품 입력하는 방법은 

 

아래 그림을 참조하시기 바랍니다.