화합물 사전 - 프레온23(Freon23 - Fluoroform)


Teledyne hastings 사의 Mass Flow Meter / Controller 를 이용해 가스 유량을 측정할 수 있는 가스 화합물의 종류에 대해 알아보는 시간입니다.


이번 시간에는 원소기호 CHF3인 프레온23에 대해 알아보도록 하겠습니다.

화합물 설명

플루오로포름(Fluoroform)이라고도 불리는 프레온23은 상온에서 기체 상태를 유지하며, 1개의 수소 원자, 1개의 탄소 원자, 그리고 3개의 불소 원자로 구성되어 있는 무색, 무취의 화합물입니다.


프레온23은 1894년 프랑스의 화학자인 모리스 메슬란(Maurice Meslans)에 의해 처음 발견되었습니다.

그는 요오드 포름(Iodoform)과 건조된 플루오르화은(Silver Fluoride)의 반응 중에 프레온 23을 얻어낼 수 있었습니다.


프레온23은 강력한 온실 가스지만, 주로 반도체 공정 중 플라즈마 에칭에 사용되며 냉매로 사용되기도 합니다.


프레온23은 기체 상태에서 공기보다 무겁기 때문에 누출될 경우 낮은 공간에 축적되어 산소 부족을 유발할 수 있습니다.

또한 고농도일 경우 마약성을 띌 수 있기 때문에 흡입하지 않도록 주의해야 합니다.





영어 이름 : Freon23

한글 이름 : 프레온23

다른 이름 : 플루오로포름(Fluoroform)

원소 기호 : CHF3

몰질량 : 70.01 g/mol

밀도 : 2.86 g/mL (STP : 0 ℃, 760 Torr 기준)

녹는점 : -155.2 ℃

끓는점 : -82.1℃

Wetted Material

가스 화합물의 종류에 따라 Mass Flow Meter / Controller 의 가스 접촉부 재료가 달라져야 하기 때문에 유량 측정을 위한 MFC 를 선택하기 전, 항상 가스 혼합물에 대한 Wetted Material 을 참고해야 합니다.

매우 만족(Excellent)

316 Stainless, Brass, Monel

좋음(Good, Most Conditions)

없음

좋지않음(Fair, Limited Life, Restricted Conditions)

없음

만족스럽지 않음(Unsatisfactory)

Aluminum

사용 불가(Unserviceability)

Steele, Constantan, Sn/Pb, Indium, ChemRaz(505), Nickel, Nylon, Buna-N, Viton, Delrin, Kalrez, TFE, Zytel(Nyl6.6), Polyethylene, Neoprene

Teledyne Hastings 사의 Mass Flow Meter / Controller 는 다양한 종류의 가스 유량 측정이 가능하며, 각각의 가스에 맞는 Wetted Material 을 사용하여 높은 정확도의 유량 측정이 가능합니다.

가스 혼합물 및 사용 가능한 Wetted Material, 그리고 Mass Flow Meter / Controller 에 대한 문의는 아래의 링크를 참고하시기 바랍니다.


https://www.inforad.co.kr/



참고

https://en.wikipedia.org/wiki/Fluoroform

https://en.wikipedia.org/wiki/Maurice_Meslans

https://pubchem.ncbi.nlm.nih.gov/compound/6373

https://webbook.nist.gov/cgi/cbook.cgi?ID=C75467&Mask=1E9F

http://www.chemspider.com/Chemical-Structure.21106179.html

https://terms.naver.com/entry.nhn?docId=4352090&cid=60228&categoryId=60228

Copyright © infoRAD Corp.  All Rights Reserved.