Case - MFC - Ar, NF3, He, O2, CF4, C4F6 - 50 SCCM


설치 제품 사양

제품명 : HFC-202

최대 유량 : 50 SCCM

기체 : Ar(아르곤), NF3(삼 불화 질소), He(헬륨), O2(산소), CF4(사 불화 탄소), C4F6(육 플루오르화 부틴)

납품처 : 대전 소재 연구소

HFC-202 제품 사양

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