Digital 306 Mass Flow Meter / Digital 308 Mass Flow Controller


Teledyne Hastings의

대유량 디지털 유량측정 및 제어 제품인

HFM-D-306A와 HFC-D-308A 모델을 소개합니다.

질소 기준 2,500 slm ~ 10,000 slm의

대유량 측정 및 제어 가능하며

± (F.S +0.2% / Reading 0.5%)의

높은 정확도를 자랑합니다.

HFM-D-306A 모델은 마이크로 프로세서 기반의 회로를 이용하여

우수한 정확도의 선형화 응답을 제공합니다.

HFC-D-308A 모델은 HFM-D-306A 모델의 기술에 기반한 디지털 유량측정 및 제어기입니다.

디지털 모델은 밸브의 빠른 응답을 보장하며,

10,000 sml의 유량 어플리케이션에 최적화 될 수 있는 유량 제어기능을 제공합니다.

특징 응용

- 2,500 slm ~ 0 - 10,000 slm (N2 기준) 대체 에너지

± (F.S +0.2% / Reading 0.5%) 연료 전지 R&D

압력한계 300 PSI 2차 교정 참조용

RS 232 / RS 485 특수 가스 수송

NIST NIST Traceable Calibration 상거래용 (Custody Transfer)

총 유량 계산 가스 정제 (Furification)

자동 영점

디지털 Mass Flow Series

Mass Flow 기술들은 로터메터와 터빈메터와 같은

부피를 이용한 측정방법에 비해 보다 안정적이고

반복 정확한 가스 유량 측정이 가능합니다.

HFM-D-3XXA 시리즈 Mass Flow Meter 및 Controler는

0-5 sccm에서 0-10,000 slm 측정 범위를 가지고 있으며,

스테인레스 스틸로 구성되고 모든 실링을 Metal로 처리하여

아날로그 및 디지털 출력을 제공합니다.

디지털 기능으로는 밸브 및 오버플로우에 대한

센서의 자가진단 기능이

있으며 자동 영점 기능 및 밸브 열림을 감지할 수 있습니다.

각각 다른 10개의 가스와 유량값을 저장할 수 있어

다양한 가스들을

모니터링할 때 비용과 시간면에서 큰 효율을 제공하며 사용자의

설정치 내에서 총 유량 계산도 가능합니다.

오차율 예시 - 3,000 slm에서 ± (F.S +0.2% / Reading 0.5%)

특징 응용 악세서리

입증된 신뢰성 대학 연구 THCD-100 (1 Channel)

5 sccm ~ 10,000 slm (N2 기준) Leak 테스트 THPS-400 (4 Channel)

NIST Traceable Calibration 증기 장착 Cables

총 유량 계산 제약 프로세스

자동 영점 R&D Process Flows

반도체 프로세스

가스 혼합

Thermal Flame Spray

기타 높은 정확도를 요구하는 응용분야

About Teledyne Hastings Instruments

Teledyne Hastings Instruments (THI)사는 1944년에 Hastings 사로 설립되어

현재까지 70년 이상 신뢰할 수 있는 고품질의 진공 계기 및 가스 질량 유량 계기를

제공하고 있는 제조업체입니다.

1968년 Teledyne 사에 인수되어 Teledyne Insruments Group 내에서

생산성을 향상시키고 중요한 제조 공정을 모니터링하며 에너지를 절약하고 환경을 보호하기 위해

혁신적인 측정 장치를 제공하는 특수 장비 분야를 담당하고 있습니다.

THI 사는 국제적인 품질 인증으로 CE 마크와 ISO9001-2000 인증을 획득했으며,

특히 ISO 17025 시험 및 교정 기관의 자격에 대한 일반 요구사항을 준수합니다.

THI사의 Vacuum 라인으로는 Thermocouple 방식의 DV-4, DV-6 센서,

Ionization 방식의 IGE 3000 센서 등

다양한 제품을 제공하여 10³(1kilo Torr)에서부터 초고 진공인 10⁻¹⁰ Torr 까지

넓은 범위를 측정이 가능합니다.

또한 Mass Flow 라인에서는 5 sccm 에서 15,000 slm 에 이르는

다양한 유량의 높은 신뢰성의 Meter 및 Controller 제품을 제공하고 있습니다.

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